[实用新型]游行轮

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体加工装置，具体地说是涉及一种作为半导体瓷板精加工研磨载体的游行轮。

背景技术

组成半导体的瓷板具有严格的要求，在半导体加工过程中，需要对瓷板进行精磨，现有的精磨是用手拿住瓷板在砂片上打磨，这样的打磨具有劳动强度大、打磨效果差、瓷板容易破碎的现象。

发明内容

本实用新型的目的就是针对上述存在的问题，提供一种劳动强度低、操作容易、瓷板不易破碎的游行轮。

本实用新型的是这样实现的：游行轮，包括游行轮本体，其特征在于：游行轮本体是中心具有安装孔的片状结构，本体上还具有可安装瓷板的孔；游行片的外形结构是圆形的，外周具有齿；所述的安装瓷板的孔是1——10个。

本实用新型的有益效果是：由于采取了以上结构，使得这样的游行轮具有操作方便、劳动强度低、研磨效果好、不易使瓷板破碎的优点。

附图说明

图1是本实用新型游行轮的结构示意图

其中；1、游行轮本体    2、安装孔    3、安装瓷板的孔    4齿

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

如图1所示：游行轮，包括游行轮本体1，其特征在于：游行轮本体1是中心具有安装孔2的片状结构，本体上还具有可安装瓷板的孔3；游行片的外形结构是圆形的，外周具有齿4；所述的安装瓷板的孔是1-10个。

使用时，安装有瓷板的游行轮在砂面下接触砂面，旋转游行轮，砂面研磨瓷板表面。

中心具有安装孔2可以将游行轮安装在可旋转的平台上，使游行轮旋转。

可安装瓷板的孔3，可使瓷板辖在孔中，起固定作用。

游行片的外形结构是圆形的，外周具有齿4；可以是多片游行轮在一个研磨面上，形成联动，提高生产率。

所述的安装瓷板的孔是1——10个，可以根据需要在一个游行轮上同时安装多片瓷板，提高生产率，图中给出了安装6块瓷板的孔的示意图，其他省略。