[实用新型]低辐射镀膜玻璃溅射保护槽型底板无效
申请号: | 200820225968.4 | 申请日: | 2008-11-21 |
公开(公告)号: | CN201292402Y | 公开(公告)日: | 2009-08-19 |
发明(设计)人: | 李琛;张庆 | 申请(专利权)人: | 淄博盛达创业玻璃有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 | 代理人: | 巩同海 |
地址: | 255086山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 辐射 镀膜 玻璃 溅射 保护 底板 | ||
【权利要求书】:
1.一种低辐射镀膜玻璃溅射保护槽型底板,包括设置在真空溅射镀膜室底部的保护底板,在保护底板设有沉孔式螺栓孔,其特征是,所述保护底板上设置有凹槽。
2.根据权利要求1所述的低辐射镀膜玻璃溅射保护槽型底板,其特征是,凹槽是均匀或者不均匀设置,凹槽贯通所述保护底板的工作面。
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