[实用新型]制备硅电容差压传感器用测试夹具

权利要求书

1、一种制备硅电容差压传感器用测试夹具，包括水平、定位、夹紧、气路、密封部分，其特征在于传感器定位机构：将左容室(1)、六个中间容室(3)、右容室(2)依次置于左、右支撑座(4)、(5)之间，七个V型支撑(6)分别置于各容室之间，导杆(11)穿过容室、V型支撑(6)、左、右支撑座(4)、(5)中的导杆孔并固定；压紧螺丝(7)旋过右支撑座(5)、套上压紧座(8)夹紧；各容室的导气孔与底盘的导气孔方向一致，各容室的导气孔与底盘的导气孔方向一致，各容室的导气孔通过管路与底盘的导气槽连通形成导气通道，各容室均有O型密封圈。

2、根据权利要求1所述的制备硅电容差压传感器用测试夹具，其特征在于V型支撑(6)的形状：用于支撑被测传感器的相向斜面延长线成90°角，相向斜面下的座壁上有对称的导杆孔，孔的轴向与两斜面的底边平行，两斜面与V型底座水平面垂直的两个面的交线与底平面的高为导杆直径的2倍；底座一侧延长段有垂直孔，与底盘(12)的七个插销孔相应配合。

3、根据权利要求1所述的制备硅电容差压传感器用测试夹具，其特征在于右支撑座(5)中部有压紧螺孔，左、右支撑座(4)、(5)的一侧均有加强筋，且有与底座垂直相交的螺栓孔；各支撑座及各容室下部均有与V型支撑(6)相同的对称的导杆孔；左、右支撑座设计耐压10-16Mpa。

4、根据权利要求1所述的制备硅电容差压传感器用测试夹具，其特征在于所述的气路机构：底盘(12)上表面有12个导气孔，6个正腔H，6个负腔L，底盘(12)内有高度不等的两层导气槽(24)，槽内也有相对应的导气孔平行于槽水平面；底盘(12)内有高度不等的两层导气通道，各通道中都有垂直于槽水平面的导气孔，上导气槽与标有“H”的正腔导气孔垂直相交，下导气槽与标有“L”的负腔导气孔垂直相交；用两个分气块盖(13)分别将上导气槽和下导气槽盖上，再将分气块盖(13)与底盘(12)焊接在一起并做表面处理；底盘(12)上表面两端各有四个固定支撑座的螺孔、七个插销孔及一个水平调节孔，底盘(12)的“L”型直角短边内为导气通道。