[实用新型]真空系统恒压恒流调节器无效
| 申请号： | 200820231410.7 | 申请日： | 2008-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN201315030Y | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 张军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | G05D27/02 | 分类号： | G05D27/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 系统 恒压恒流 调节器 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空系统恒压恒流调节器，其特征在于包括：
真空检测单元，采集真空系统的真空度；
智能控制单元，接收真空检测单元的信号，执行控制程序，向调节单元发送控制信号；
调节单元，接收智能控制单元的控制信号，调节真空系统的真空度。
2.按权利要求1所述的真空系统恒压恒流调节器，其特征在于：还具有计算机软件单元，通过通讯接口接收智能控制单元上传的数据，向智能控制单元下传控制命令进行远程控制。
3.按权利要求1所述的真空系统恒压恒流调节器，其特征在于：所述调节单元包括步进电机以及与该步进电机输出轴相连的电动截流阀。
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