[实用新型]300mm立式氧化炉的炉体保温结构

说明书

技术领域

本实用新型属于一种给300mm硅片进行热处理加工设备，具体的是一种用于300mm硅片进行氧化、退火等工艺的立式氧化炉。炉体保温结构是立式氧化炉的重要部件。

背景技术

硅是一种重要的半导体材料，硅片是作为集成电路的重要载体，它的氧化处理是一种要求温度精度非常高的工艺。目前使用的硅片氧化炉大多是卧式结构，炉体保温层结构不够完善，保温性能有待改善，不能满足300mm硅片的需求。因此，需要提出一种新结构的氧化炉炉体保温结构--300mm立式氧化炉炉体的保温层结构。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化炉的炉体保温结构，该保温结构设计完善合理，保温效果好。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：300mm立式氧化炉的炉体保温结构，设有炉体保温层，其特征在于：所述炉体保温层为轻质、绝缘、保温材料制成的圆筒形，设置在炉体外壳内壁里面，在炉体保温层的上口设有圆环形轻质绝缘、保温材料顶块，该顶块外面设计有固定环，该固定环与炉体外壳内壁焊接在一起，在顶块内纵向均匀镶嵌有数个硬质隔热材料制成的用以固定炉丝支撑杆的绝热帽，在顶块中间设有轻质绝热保温材料顶盖；在炉体保温层底部设有轻质绝热保温材料环形底块，该底块外面设计有底部固定环，该固定环与炉体外壳内壁焊接在一起，在底块内也纵向均匀镶嵌有数个对应的硬质绝缘、隔热材料制成的绝热帽；在所述炉体上口的固定环上设有搬运挂件。

本实用新型具有结构完善，整体性强，保温效果好的优点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明：实施例：参见附图，300mm立式氧化炉的炉体保温结构，设有炉体保温层，所述炉体保温层6为轻质绝热保温材料保温棉制成的圆筒形，设置在炉体外壳内壁7里面，在炉体保温层的上口设有圆环形保温棉顶块3，该顶块外面包有金属固定环1，该固定环与炉体外壳内壁焊接在一起，在顶块内纵向均匀镶嵌有16个硬质隔热材料陶瓷的用以固定炉丝支撑杆的2，在顶块中间设有轻质绝热保温材料保温棉顶盖4；在炉体保温层底部设有轻质保温材料环形底块10，该底块外面包有底部金属固定环8，该固定环与炉体外壳内壁焊接在一起，在底块内也纵向均匀镶嵌有16数个对应的硬质绝缘、隔热材料陶瓷制成的绝热帽9；在所述炉体上口的固定环上设有搬运挂件5。