[实用新型]一种控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置

权利要求书

1.一种控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置，包括辅助阳极和阴极挂具，所述辅助阳极包括金属网(12)，所述阴极挂具包括阴极挂板(62)，其特征在于：所述金属网(12)和所述阴极挂板(62)分别形成第一柱面和第二柱面，所述第一柱面和第二柱面的曲导线为只有一个对称轴的轴对称平面曲线；所述曲导线均只有一个凸部，所述凸部的顶点在其曲导线的对称轴上，且所述凸部正对对方凸出；所述金属网(12)形成的第一柱面在与其轴线垂直的投影面上的投影面积不小于阴极在同一投影面上的投影面积；所述第一柱面和第二柱面的曲导线所在平面的夹角为70°～90°。

2.根据权利要求1的控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置，所述第一柱面和第二柱面的曲导线所在平面的夹角为90°。

3.根据权利要求1的控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置，所述第一柱面和第二柱面的弯曲程度均可调。

4.根据权利要求3的控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置，所述辅助阳极包括辅助阳极调节杆(11)和金属网(12)，通过至少1个可沿所述辅助阳极调节杆(11)滑动的连接装置将金属网(12)连接到辅助阳极调节杆(11)上，移动所述连接装置调节金属网(12)形成的第一柱面的弯曲程度。

5.根据权利要求3的控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置，所述阴极挂具包括阴极挂板(62)和阴极挂杆(61)，所述阴极挂板(62)通过至少1个可沿所述阴极挂杆(61)滑动的连接装置与阴极挂杆(61)连接，移动所述连接装置调节阴极挂板(62)形成的第二柱面的弯曲程度。

6.根据权利要求1的控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置，所述第一柱面和第二柱面的曲导线均为抛物线。

7.根据权利要求1的控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置，所述曲导线的2个端点之间的线段的长度为所述曲导线凸部的顶点到所述线段的距离的1.5～5.5倍。