[实用新型]生产非晶硅薄膜太阳能电池用激光刻膜机无效

专利信息
申请号: 200820241126.8 申请日: 2008-12-30
公开(公告)号: CN201349017Y 公开(公告)日: 2009-11-18
发明(设计)人: 徐爱忠;叶青;付斌;孙文 申请(专利权)人: 武汉楚天激光(集团)股份有限公司
主分类号: H01L31/20 分类号: H01L31/20;B23K26/36
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 430074湖北省武汉市东*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 生产 非晶硅 薄膜 太阳能电池 激光 刻膜机
【权利要求书】:

1、一种生产非晶硅薄膜太阳能电池用激光刻膜机,其特征在于:包括用于刻划非晶硅薄膜的激光器系统、计算机系统、四光路分光装置、聚焦装置、二维运动工作台,所述计算机系统分别与激光器系统、四光路分光装置、二维运动工作台连接,激光器系统输出的激光通过四光路分光装置、聚焦装置作用在二维运动工作台上的工件上。

2、如权利要求1所述生产非晶硅薄膜太阳能电池用激光刻膜机,其特征在于:所述激光器系统包括激光器、扩束镜、光纤及其耦合准直装置、激光电源、声光电源、冷却系统,激光器分别与激光电源、声光电源、冷却系统连接,扩束镜、光纤及其耦合准直装置位于激光器的输出端。

3、如权利要求2所述的一种生产非晶硅薄膜太阳能电池用激光刻膜机,其特征在于:所述激光器包括绿光激光器、红外光激光器,其中,绿光激光器由反射镜、Q开关、激光模块、谐波反射镜、倍频晶体、输出镜组成,红外光激光器由反射镜、Q开关、激光模块、输出镜组成。

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