[实用新型]一种单晶炉加热器底盘无效
申请号: | 200820302772.0 | 申请日: | 2008-11-13 |
公开(公告)号: | CN201305649Y | 公开(公告)日: | 2009-09-09 |
发明(设计)人: | 何紫平;胥敬东;丁宇翔 | 申请(专利权)人: | 湖州新元泰微电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/18 | 分类号: | C30B15/18 |
代理公司: | 贵阳中新专利商标事务所 | 代理人: | 刘 楠;程新敏 |
地址: | 313009浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 加热器 底盘 | ||
【权利要求书】:
【权利要求1】一种单晶炉加热器底盘,其特征在于:它包括底盘(1);底盘(1)上设有两个电极孔(2),两个电极孔(2)的间距为450~470mm。
【权利要求2】根据权利要求1所述的单晶炉加热器底盘,其特征在于:所述的两个电极孔的间距为460mm。
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