[发明专利]固体摄像元件有效

专利信息
申请号: 200880000441.4 申请日: 2008-03-21
公开(公告)号: CN101542733A 公开(公告)日: 2009-09-23
发明(设计)人: 舛冈富士雄;中村广记 申请(专利权)人: 日本优尼山帝斯电子股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人: 刘新宇;张会华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 固体 摄像 元件
【权利要求书】:

1.一种固体摄像装置,其具有排列在基板上的固体摄像元件,其特征在于,上述固体摄像元件包括:

形成在基板上的信号线;

配置在上述信号线上的岛状半导体;

与上述岛状半导体的上部相连接的像素选择线,

上述岛状半导体包括:

配置在上述岛状半导体的下部、与上述信号线相连接的第1半导体层;

与上述第1半导体层的上侧邻接的第2半导体层;

隔着绝缘膜与上述第2半导体层相连接的栅极;

与上述第2半导体层相连接、由受光时电荷量会发生变化的第3半导体层构成的电荷积蓄部;

与上述第2半导体层和上述第3半导体层的上侧邻接、与上述像素选择线相连接的第4半导体层,

将上述固体摄像元件在基板上排列成蜂窝状。

2.根据权利要求1所述的固体摄像装置,其中,上述信号线是n+型扩散层,上述第1半导体层是n+型扩散层,上述第2半导体层是p型杂质添加区域,上述第3半导体层是n型扩散层,上述第4半导体层是p+型扩散层。

3.根据权利要求2所述的固体摄像装置,其中,

上述p+型扩散层和n型扩散层起到光电转换用光电二极管的作用,

上述p+型扩散层、n型扩散层和p型杂质添加区域起到放大用晶体管的作用,

上述第1半导体层的n+型扩散层、p型杂质添加区域、n型扩散层和栅极起到复位晶体管的作用,

上述p型杂质添加区域和n+型扩散层起到二极管的作用。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的固体摄像装置,其中,上述岛状半导体为圆柱状。

5.根据权利要求1~3中任一项所述的固体摄像装置,其中,上述岛状半导体为六棱柱状。

6.根据权利要求1所述的固体摄像装置,其中,上述第2半导体层的一部分为圆柱状,上述栅极隔着上述绝缘膜包围上述第2半导体层的一部分的外周。

7.根据权利要求6所述的固体摄像装置,其中,上述第2半导体层的另一部分为圆柱状,上述第3半导体层包围上述第2半导体层的上述另一部分的外周。

8.一种固体摄像装置,其具有排列在基板上的固体摄像元件,其中,上述固体摄像元件包括:

形成在基板上的信号线;

配置在上述信号线上的岛状半导体;

与上述岛状半导体的上部相连接的像素选择线,

上述岛状半导体包括:

配置在上述岛状半导体的下部、与上述信号线相连接的第1半导体层;

与上述第1半导体层的上侧邻接的第2半导体层;

隔着绝缘膜与上述第2半导体层相连接的栅极;

与上述第2半导体层相连接、由受光时电荷量会发生变化的第3半导体层构成的电荷积蓄部;

与上述第2半导体层和上述第3半导体层的上侧邻接、与上述像素选择线相连接的第4半导体层,

上述固体摄像元件在基板上以n行m列排列成矩阵状,其中,n、m大于等于1,

上述岛状半导体为圆柱状。

9.一种固体摄像装置,其具有排列在基板上的固体摄像元件,其中,上述固体摄像元件包括:

形成在基板上的信号线;

配置在上述信号线上的岛状半导体;

与上述岛状半导体的上部相连接的像素选择线,

上述岛状半导体包括:

配置在上述岛状半导体的下部、与上述信号线相连接的第1半导体层;

与上述第1半导体层的上侧邻接的第2半导体层;

隔着绝缘膜与上述第2半导体层相连接的栅极;

与上述第2半导体层相连接、由受光时电荷量会发生变化的第3半导体层构成的电荷积蓄部;

与上述第2半导体层和上述第3半导体层的上侧邻接、与上述像素选择线相连接的第4半导体层,

上述固体摄像元件在基板上以n行m列排列成矩阵状,其中,n、m大于等于1,

上述岛状半导体为四棱柱状。

10.根据权利要求8或9所述的固体摄像装置,其中,上述信号线是n+型扩散层,上述第1半导体层是n+型扩散层,上述第2半导体层是p型杂质添加区域,上述第3半导体层是n型扩散层,上述第4半导体层是p+型扩散层。

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