[发明专利]分光模块有效
申请号: | 200880000504.6 | 申请日: | 2008-06-05 |
公开(公告)号: | CN101542247A | 公开(公告)日: | 2009-09-23 |
发明(设计)人: | 柴山胜己;能野隆文;铃木智史;H·泰希曼;D·希勒;U·施塔克 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙 淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分光 模块 | ||
技术领域
本发明涉及对光进行分光并进行检测的分光模块。
背景技术
现有的分光模块,例如有专利文献1所记载的分光模块,该分光 模块具备:使光透过的支撑体、使光入射于支撑体的入射狭缝部、对 入射于支撑体的光进行分光并进行反射的凹面衍射光栅、以及检测被 凹面衍射光栅分光并反射的光的二极管。
专利文献1:日本特许第3119917号公报
发明内容
然而,上述的分光模块中,当将入射狭缝部及二极管安装于支撑 体时,入射狭缝部和二极管的相对的位置关系发生偏移,分光模块的 可靠性有可能下降。
因此,本发明是鉴于上述问题而提出的,其目的在于,提供一种 可靠性高的分光模块。
为了达到上述目的,本发明的分光模块的特征在于,具备:本体 部,使光透过;分光部,对从本体部的规定的面入射于本体部的光进 行分光,并向规定的面侧反射;以及光检测元件,被支撑于规定的面 上,检测被分光部分光并反射的光,在规定的面形成有光吸收层,该 光吸收层具有使向分光部行进的光通过的第1光通过孔、以及使向光 检测元件行进的光通过的第2光通过孔。
在该分光模块中,光吸收层具有使向分光部行进的光通过的第1 光通过孔、以及使向光检测元件行进的光通过的第2光通过孔。因此, 能够防止第1光通过孔和第2光通过孔的相对的位置关系发生偏移。 并且,由于通过光吸收层来抑制杂散光的产生并吸收杂散光,因而能 够抑制杂散光入射于光检测元件。所以,依照该分光模块,能够提高 可靠性。
在本发明的分光模块中,本体部具有沿着与规定的面大致正交的 方向层叠的多个光透过部件,而且,更优选具有规定的面的光透过部 件形成为板状。依照这种构成,能够使针对本体部的光吸收层的形成 和光检测元件的安装容易化。
在本发明的分光模块中,优选在与规定的面大致正交的方向上的 相邻的光透过部件之间形成光吸收层。依照这种构成,能够限制一边 扩大,一边在本体部中行进的光,使其到达期望的区域,并且能够进 一步有效地抑制杂散光入射于光检测元件。
在本发明的分光模块中,优选在规定的面,形成有与光检测元件 电连接的配线。例如,在本体部由玻璃形成,配线由金属形成的情况 下,相对于本体部的配线的紧密结合性提高,因而能够防止配线的断 线等。这时,优选配线在规定的面侧具有光吸收层。依照这种构成, 能够防止因配线而引起的杂散光的漫反射等。
在本发明的分光模块中,优选在形成于规定的面的光吸收层中的 规定的面的相反侧的面,形成有与光检测元件电连接的配线。依照这 种构成,能够在防止因配线而引起的杂散光的漫反射等的同时,更切 实地实现光吸收层对杂散光的产生的抑制、以及光吸收层对杂散光的 吸收。
依照本发明,能够提高可靠性。
附图说明
图1是第1实施方式的分光模块的平面图。
图2是沿着图1所示的II-II线的截面图。
图3是第2实施方式的分光模块的纵截面图。
图4是其他实施方式的分光模块的纵截面图。
图5是其他实施方式的分光模块的纵截面图。
图6是其他实施方式的分光模块的分光部周边的纵截面图。
符号说明
1:分光模块;2:本体部;2a:前面(规定的面);21~23:光透过 部件;3:分光部;4:光检测元件;6、7:光吸收层;6a、7a:光通 过孔(第1光通过孔);6b、7b:光通过孔(第2光通过孔);9:配线; 13:光吸收层。
具体实施方式
以下,参照附图,详细地说明本发明的优选实施方式。另外,在 各图中,对于同一或相当的部分赋予相同的符号,省略重复的说明。
(第1实施方式)
如图1及图2所示,分光模块1具备:本体部2,使光透过;分光 部3,对从本体部2的前面(规定的面)2a入射于本体部2的光L1进 行分光,并向前面2a侧反射;以及光检测元件4,被支撑于前面2a上, 检测被分光部3分光并反射的光L2。分光模块1通过在分光部3将光 L1分光为多个光L2,并在光检测元件4检测光L2,从而测量光L1的 波长分布和特定波长成分的强度等。
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