[发明专利]超导氧化物材料的制造方法

权利要求书

1.一种超导氧化物材料的制造方法，其经过将氧化物形成超导物质的金 属的有机化合物溶液涂布在支撑体上并使其干燥的工序(1)、使金属的有 机化合物中的有机成分热分解的预烧成工序(2)和进行向超导物质转化的 主烧成工序(3)来制造外延生长的超导涂敷材料，其特征在于：在工序(1) 和工序(2)之间照射激光时，向涂布有形成超导物质的金属的有机化合物 溶液的面和/或涂布面的相反侧的面照射激光，所述照射在激光的强度、脉 冲数、激光总能量的量满足下述各式1～3，且在用下式4～5的直线围成的 条件下进行：

式1：5mJ/cm²≤激光的强度F≤200mJ/cm²

式2：1≤脉冲数P≤198000000

式3：(0.03J/cm²×基板常数)≤激光总能量的量≤(89000J/cm²×基板 常数)，该式中，基板常数是由支撑体的材质和厚度决定的1以上的数，在 将对涂布有形成超导物质的金属的有机化合物溶液的面照射激光时作为1， 从基板上涂布有金属的有机化合物溶液的面的相反侧的面照射激光时，相 当于与涂布面得到相同效果的总能量的量的倍数，

式4：Log₁₀P＝K¹F+K²

式5：Log₁₀P＝K¹F+K³

上述式4、式5中，K¹为连接对应于最初发生向超导物质转化的任意 的P点的F点与对应于最初发生向超导物质转化的任意的F点的P点的斜 率，K²为沿着斜率K¹将最初发生向超导物质转化的在F＝5的P点的值外推 得到的在F＝0的P点的对数值，K³为沿着斜率K¹将最初发生消融的在F＝5 的P点的值外推得到的在F＝0的P点的对数值，K³＞K²。

2.根据权利要求1所述的超导氧化物材料的制造方法，其中，支撑体 是选自铝酸镧(LaAlO₃)、钛酸锶(SrTiO₃)、氧化镧锶钽铝 ((La_xSr_1-x)(Al_xTa_1-x)O₃)、镓酸钕(NdGaO₃)或铝酸钇(YAlO₃)中的1 种的单晶体基板。

3.根据权利要求1所述的超导氧化物材料的制造方法，其中，支撑体 是在选自氧化铝(Al₂O₃)、氧化钇稳定化氧化锆((Zr，Y)O₂、YSZ)、氧化 镁(MgO)、铝酸镧(LaAlO₃)、钛酸锶(SrTiO₃)、氧化镧锶钽铝 ((La_xSr_1-x)(Al_xTa_1-x)O₃)、镓酸钕(NdGaO₃)或铝酸钇(YAlO₃)中的1 种的单晶体基板上形成有氧化铈(CeO₂)中间层的基板。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的超导氧化物材料的制造方法， 其中，氧化物形成超导物质的金属是选自RE和AE各自中的1种以上和 Cu，RE为稀土类元素，AE为碱土类金属。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的超导氧化物材料的制造方法， 其中，氧化物形成超导物质的金属是选自RE和AE各自中的1种以上和 Cu，RE为Y，AE为碱土类金属。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的超导氧化物材料的制造方法， 其中，金属的有机化合物是选自β-二酮化物、醇盐和有机酸盐中的1种以 上。

7.根据权利要求6所述的超导氧化物材料的制造方法，其中，所述有 机酸盐含有卤素。