[发明专利]制备金属氧化物薄膜、电容器、氢分离膜-电解质膜组合件和燃料电池的方法

权利要求书

1.一种制备金属氧化物薄膜的方法，其特征在于所述方法包括：

电镀步骤，在该步骤中使用含二甲基亚砜和卤素的基于甲基酮的有机溶液(20)作为电镀溶液。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述方法还包括：

热处理步骤，在该步骤中对由所述电镀步骤得到的金属氢氧化物薄膜或金属氧化物薄膜(70)进行加热。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述基于甲基酮的有机溶液(20)含有供质子有机物质。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述供质子有机物质在所述基于甲基酮的有机溶液(20)中的浓度为5mol/L或更低。

5.根据权利要求3所述的方法，其中所述供质子有机物质包括甲醇、乙醇、丙醇和乙酸中的至少一种。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述卤素在所述基于甲基酮的有机溶液(20)中的浓度，以卤素分子计，为0.002至0.1mol/L。

7.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述卤素是溴。

8.一种制备电容器的方法，其特征在于所述方法包括：

制备第一电极(110)的制备步骤；

电介质部分形成步骤，在该步骤中利用根据权利要求1或2所述的方法在所述第一电极(110)上形成由金属氧化物薄膜构成的电介质部分(120)；和

电极形成步骤，在该步骤中在所述电介质部分(120)上形成第二电极(130)。

9.一种制备氢分离膜-电解质膜组合件的方法，其特征在于所述方法包括：

制备具有氢渗透性的氢分离膜的制备步骤；和

电解质膜形成步骤，在该步骤中利用根据权利要求1或2所述的方法在所述氢分离膜(210)上形成由金属氧化物薄膜构成的质子导电电解质膜(220)。

10.一种制备燃料电池的方法，其特征在于所述方法包括：

阴极形成步骤，在该步骤中在利用根据权利要求9所述的方法制备的氢分离膜-电解质膜组合件的质子导电电解质膜(220)上形成阴极(230)。