[发明专利]样品定位设备

权利要求书

1.一种样品定位台，其用于相对于光学检测装置定位待检测的样品，所述样品定位台包括：

基本上平面的第一主体，待检测的样品可以携带在该第一主体上；

第二主体，所述第二主体通过设置在所述第一主体和所述第二主体之间的至少一个刚性轴承和至少一个弹柔性轴承直接连接到所述第一主体上，所述至少一个刚性轴承和至少一个弹柔性轴承基本上彼此相对地布置，并且通过所述轴承使得所述第一主体和第二主体在基本上平行于所述基本上平面的第一主体的平面的方向上对彼此预加载，并且通过所述轴承所述第一主体相对于所述第二主体的运动被限制到与所述第一主体的平面基本上平行的第一平面；

电机传动的驱动系统，其可操作地朝着从位置输入装置接收的需求相对位置将第一主体和第二主体相对于彼此在第一平面内驱动，其中，所述电机传动的驱动系统在距离所述至少一个刚性轴承比距离所述至少一个弹柔性轴承更近的位置在所述台上施加驱动力；以及

位置传感装置，所述位置传感装置位于所述第一主体和所述第二主体的至少一个上，并且距离所述至少一个刚性轴承比距离所述至少一个弹柔性轴承更近，所述位置传感装置用于提供所述第一主体和所述第二主体的相对位置的测量。

2.根据权利要求1所述的样品定位台，其特征在于，所述至少一个刚性轴承包括位于所述第一主体和所述第二主体中的一个上的至少一个轨道以及位于所述第一主体和所述第二主体中的另一个上的与所述轨道接合的至少一个滑行器。

3.根据权利要求2所述的样品定位台，其特征在于，所述电机传动的驱动系统作用在所述轨道上，以便导致相对运动。

4.根据权利要求3所述的样品定位台，其特征在于，所述电机传动的驱动系统作用在所述轨道的支承表面上。

5.根据权利要求4所述的样品定位台，其特征在于，由所述电机传动的驱动系统施加在所述轨道上的力的方向基本上延伸平行于支承接触线。

6.根据权利要求4或者5所述的样品定位台，其特征在于，所述电机传动的驱动系统作用在所述轨道的支承表面上的点基本上位于所述支承接触线上。

7.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的样品定位台，其特征在于，通过所述轴承所述第一主体和所述第二主体的相对运动被限制到第一自由度，所述第一自由度基本上平行于所述第一主体的平面。

8.根据权利要求7所述的样品定位台，其特征在于，所述样品定位台包括沿着第一自由度相互分隔开的至少两个刚性轴承，所述电机传动的驱动系统在所述至少两个刚性轴承之间的点处作用在所述第一主体或者第二主体上。

9.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的样品定位台，其特征在于，所述第一主体和所述第二主体可在线性方向相对于彼此运动。

10.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的样品定位台，其特征在于，所述第一主体是板，所述第二主体是托架。

11.根据权利要求2到10中任一项权利要求所述的样品定位台，其特征在于，所述轨道是摩擦杆，所述滑行器是轮。

12.根据权利要求11所述的样品定位台，其特征在于，所述电机传动的驱动系统包括电机主体和从所述电机主体延伸的驱动轴，所述驱动轴与所述摩擦杆摩擦接合，从而所述驱动轴的旋转使得所述摩擦杆相对于所述驱动轴运动。

13.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的样品定位台，其特征在于，所述弹柔性轴承包括便于使得所述两个主体之间相对运动的支承部分以及使得所述支承部分弹性地柔性运动的弹柔性支座。

14.根据权利要求13所述的物体检测设备，其特征在于，所述弹柔性支座将所述轴承偏压成支承接合。

15.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的样品定位台，其特征在于，所述位置传感装置包括位于所述第一主体和所述第二主体中的一个上的刻度尺和位于所述第一主体和所述第二主体中的另一个上的刻度尺读取器，所述刻度尺和刻度尺读取器距离所述至少一个刚性轴承比距离所述至少一个弹柔性轴承更近。