[发明专利]感应线圈、等离子发生装置及等离子发生方法

权利要求书

1.一种感应线圈，其用于使在规定的空间中产生等离子的等离子 发生装置，

所述感应线圈具有在水平面上至少缠绕两圈的绕线部位和两个 端子；

相对于通过所述两个端子间和线圈的纵向方向的轴芯的基准面 是对称的形状；以及

在所述线圈与所述基准面的交叉部，所述绕线部位具有至少一 个交叉。

2.根据权利要求1所述的感应线圈，其特征在于，

所述绕线部位被缠绕N圈，所述交叉等于N-1的个数。

3.一种等离子发生装置，具备：

感应线圈，其具有在水平面上至少缠绕两圈的绕线部位和两个 端子；相对于通过该两个端子间和线圈的纵向方向的轴芯的基 准面是对称的形状；以及在所述线圈与所述基准面的交叉部， 所述绕线部位具有至少一个交叉；和

处理容器即处理离子腔，其在规定位置配置有所述感应线圈， 向所述感应线圈供给电功率来使得在所述处理容器中产生等离 子。

4.根据权利要求3所述的等离子发生装置，其特征在于，

所述处理容器具有：壁构件，其在一个面上至少形成一个作为 等离子发生用空间的环状沟，在另一个面上与所述一个面上所 形成的环状沟同心状地至少形成一个环状沟，

在所述另一个面上所形成的环状沟中收容所述感应线圈。

5.一种等离子发生方法，使用感应线圈来使得在规定空间中产生 等离子，

所述感应线圈具有在水平面上至少缠绕两圈的绕线部位和两个 端子；相对于通过所述两个端子间和线圈的纵向方向的轴芯的 基准面是对称的形状；以及在所述线圈与所述基准面的交叉部， 所述绕线部位具有至少一个交叉；以及

向所述规定的空间供给等离子发生用的气体，并通过向所述感 应线圈供给电功率来使得在所述规定的空间中产生等离子。

6.一种感应型的等离子发生方法，采用了以缠绕假设圆柱表面的 方式所形成的感应线圈，

所述感应线圈由分别成为绕线起点和绕线终点的第一端子 和第二端子、及将该第一端子和第二端子进行连接而形成线圈 部分的电线构成，

从第一端子侧所缠绕的电线和从第二端子侧所缠绕的电线 形成为，以沿着所述圆柱表面成为对称的位置的方式进行缠绕， 在半周的位置以绝缘状态彼此交叉，再次以沿着所述假设圆柱 表面成为对称的位置的方式进行缠绕，对此反复进行之后进行 连接，

将电源连接于第一端子来供给高频电功率，并且将可变电 容器连接于第二端子，通过该可变电容器的作用将感应线圈的 两端设为同电位，并使所述电线的中间点的电位大致成为0， 从而使基于电容性电流的等离子的电位对称，并通过向该感应 线圈所供给的高频电功率使得在该感应线圈的内侧生成磁场， 且由该磁场的作用生成等离子。