[发明专利]具有多个导电区域的结构部件

权利要求书

1.一种结构部件，包含基板，固定电极和可动电极被形成在所述 基板上并沿基板的平面隔着距离分开，并且可动电极与排除固定电极 的基板的部分通过梁被相互连接，所述基板包括彼此电绝缘的多个导 电区域，其中，

所述多个导电区域通过基板的由氧化材料制成的氧化区域而彼此 电绝缘，以及

所述氧化材料从布置在氧化区域中的多个通孔或沟槽的内表面被 形成，从通孔或沟槽的内表面被形成的氧化材料与相邻通孔或沟槽的 氧化材料接触，并且，氧化材料的厚度大于所述基板在沟槽的底表面 之下的厚度。

2.根据权利要求1的结构部件，其中，所述多个通孔或沟槽当中 的相邻通孔或沟槽之间的最近距离为2μm或更小。

3.根据权利要求1的结构部件，其中，其中形成所述沟槽中的每 一个的材料部分的厚度和所述沟槽中的每一个的深度之间的差异为2 μm或更小，所述差异对应于存在于所述沟槽中的每一个的底表面之 下的所述材料部分的厚度。

4.根据权利要求1的结构部件，其中，所述通孔或沟槽具有100 μm或更小的深度。

5.一种结构部件的制造方法，所述结构部件包含基板，固定电极 和可动电极被形成在所述基板上并沿基板的平面隔着距离分开，并且 可动电极与排除固定电极的基板的部分通过梁被相互连接，所述基板 包括彼此电绝缘的多个导电区域，所述制造方法包括如下步骤：

在基板上形成多个通孔或沟槽以隔着间隔而被布置；以及

将至少所述多个通孔或沟槽的内表面上的所述基板热氧化，由此 围绕所述多个通孔或沟槽形成氧化区域，使得从相邻通孔或沟槽的内 表面生长的氧化区域彼此接触并且所述氧化区域的厚度大于所述基板 在沟槽的底表面之下的厚度。

6.根据权利要求5的结构部件的制造方法，其中，形成所述多个 通孔或沟槽的步骤包含：在基板的除了通孔或沟槽的部分之外的表面 上形成氮化硅膜作为掩模的步骤，以及在从基板的所述表面去除所述 掩模之前执行将所述基板热氧化的步骤。

7.一种包含根据权利要求1～4中的任一项的结构部件的加速度传 感器，其中，所述结构部件包含用于感测加速速度的可动部件。

8.一种包含根据权利要求1～4中的任一项的结构部件的陀螺仪， 其中，所述结构部件包含用于感测由角速度引起的力的可动部件。

9.一种包含根据权利要求1～4中的任一项的结构部件的致动器， 其中，所述结构部件包含用于将电能的输入的力转变成物理运动的可 动部件。

10.一种包含根据权利要求1～4中的任一项的结构部件的电势传 感器，其中，所述结构部件包含具有检测电极部分的可动部件，所述 检测电极部分用于输出根据待测物体的电势的电信号。