[发明专利]清洁表面的方法

权利要求书

1.一种清洁盘状物体的表面的方法，包括以下步骤：

-以自由流动清洁处理所述表面，其中将液体经由分配喷头以连 续液体流分配到所述表面上，

-以喷洒清洁处理所述表面，其中将液体经由喷洒喷头以液滴的 形式导向所述表面，

其中所述表面在所述自由流动清洁步骤之前用喷洒清洁步骤处 理，且在所述自由流动清洁步骤之后用喷洒清洁步骤处理，

其中至少两个所述喷洒清洁步骤各自运行5秒至45秒，以及

其中所述喷洒清洁步骤使用选自无空气喷洒喷头、具有内部混合 的两相喷头或具有外部混合的两相喷头的喷洒喷头，其中所述喷洒喷头 的喷口位于离盘状物体的表面距离d处，d为0.1厘米至10厘米，其中所 述液滴的平均直径D₃₀在0.001毫米和0.1毫米之间。

2.权利要求1的方法，其中将自由流动清洁步骤之后接着喷洒清 洁步骤的顺序至少执行两次。

3.权利要求1的方法，其中所述自由流动清洁步骤和/或所述喷洒 清洁步骤中的至少一种使用碱性清洁液体。

4.权利要求3的方法，其中所述碱性清洁液体包含选自由臭氧、 过氧化氢和臭氧与过氧化氢的混合物组成的集合的氧化剂。

5.权利要求4的方法，其中所述清洁液体包含氨。

6.权利要求1的方法，其中所述至少一个喷洒清洁步骤使用选自 包括水、有机溶剂碱性组合物和酸性组合物的集合的清洁液体。

7.权利要求1的方法，其中所述自由流动清洁步骤和所述喷洒清 洁步骤在时间上重合不多于5秒。

8.权利要求1的方法，其中所述盘状物体在至少一个清洁步骤期 间被旋转。

9.权利要求1的方法，其中所述喷洒清洁步骤使用具有外部混合 的两相喷头。

10.权利要求1的方法，其中所述喷洒喷头的喷口位于离盘状物体 的表面距离d处，d为0.3厘米至5厘米。

11.权利要求1的方法，其中至少两个所述喷洒清洁步骤各自运行8 秒至30秒。

12.权利要求2的方法，其中至少两个所述自由流动清洁步骤各自 运行5秒至45秒。

13.权利要求1的方法，其中所述喷洒喷头横向扫过所述盘状物体。