[发明专利]包含聚集体的涂布研磨产品

权利要求书

1.一种涂布研磨产品，其包括：

基材；

粘合至基材的微粒材料，所述微粒材料包含未烧制的生料研磨聚集体，所述 聚集体具有基本类球形或环形的形状，所述聚集体由包含分散在纳米颗粒粘结剂中 平均粒度为0.1-50微米的磨料颗粒的复合物组合物形成，其中，纳米颗粒粘结剂 包含平均粒度小于100纳米的颗粒。

2.如权利要求1所述的涂布研磨产品，其特征在于，所述纳米颗粒粘结剂形 成连续基质相，磨料颗粒均匀分布在该基质相中。

3.如权利要求1所述的涂布研磨产品，其特征在于，所述聚集体具有所述类 球形的形状，并且是空心的。

4.如权利要求3所述的涂布研磨产品，其特征在于，所述聚集体的壁厚t_w为所述聚集体平均粒度的0.08-0.4倍。

5.如权利要求1所述的涂布研磨产品，其特征在于，所述磨料颗粒的平均粒 度为0.2-10微米。

6.如权利要求1所述的涂布研磨产品，其特征在于，所述磨料颗粒包括莫氏 硬度不小于5的材料。

7.如权利要求1所述的涂布研磨产品，其特征在于，所述磨料颗粒包括选自 氧化物、氮化物和含碳材料的材料。

8.如权利要求7所述的涂布研磨产品，其特征在于，所述含碳材料是碳化物。

9.如权利要求7所述的涂布研磨产品，其特征在于，所述材料选自下组：二 氧化铈、氧化铝、氧化硅、氧化锆、碳化硅、碳化钛、氮化钛、氮化硅、氮化硼、 金刚石以及它们的组合。

10.如权利要求1所述的涂布研磨产品，其特征在于，所述纳米颗粒粘结剂 的平均粒度小于80纳米。

11.如权利要求10所述的涂布研磨产品，其特征在于，所述纳米颗粒粘结剂 选自下组：二氧化铈、氧化硅、氧化铝和金刚石。

12.如权利要求11所述的涂布研磨产品，其特征在于，所述纳米颗粒粘结剂 包括氧化硅。

13.如权利要求1所述的涂布研磨产品，其特征在于，所述组合物进一步包 含增塑剂。

14.一种形成研磨微粒材料的方法，其包括：

形成包含液体载剂、磨料颗粒和纳米颗粒粘结剂的浆液；以及

喷雾干燥所述浆液，形成包含分散在纳米粘结剂中的磨料颗粒的未烧制的生 料聚集体；其中，以干重量为基准，所述纳米粘结剂占聚集体的50-75％；和

对所述聚集体进行分级，以用于研磨产品。

15.如权利要求14所述的方法，其特征在于，所述浆液进一步包含增塑剂。

16.如权利要求14所述的方法，其特征在于，喷雾干燥在小于400℃的温度 进行。