[发明专利]真空管路无效
| 申请号： | 200880003019.4 | 申请日： | 2008-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN101595337A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 海因里希·恩伦德尔 | 申请（专利权）人： | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F16L27/10 | 分类号： | F16L27/10;F04D29/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 魏金霞;田军锋 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 管路 | ||
1.一种真空管路(10)，包括两个管路部件(12、13)，所述管路部 件(12、13)通过振动阻尼器(14)连接，并能够相对彼此移动；
所述振动阻尼器(14)包括竖直外管(18)、插入到所述竖直外管(18) 中的竖直内管(20)以及挠性的拉伸套管(30)，所述拉伸套管(30)跨在 所述两个管路(18、20)之间，并具有以真空密封的方式紧固于所述外管 (18)及所述内管(20)的开口边缘。
2.如权利要求1所述的真空管路(10)，其中，当受到拉伸时，所述 拉伸套管(30)相对于轴线(34)倾斜小于45°，并且优选地小于20°。
3.如权利要求1或2所述的真空管路(10)，其中，所述套管的长度 (L)为所述套管的径向宽度(R)的至少两倍。
4.如权利要求1至3中任一项所述的真空管路(10)，其中，所述拉 伸套管(82)包括适于填充流体的至少一个空腔(84)。
5.如权利要求4所述的真空管路(10)，其中，设有套管控制器(90)， 所述套管控制器(90)根据运转状态来控制所述拉伸套管空腔(84)中的 流体的量。
6.如权利要求1至5中任一项所述的真空管路(10)，其中，设置有 拉伸止动件(44)。
7.如权利要求1至6中任一项所述的真空管路(10)，其中，设置有 压缩止动件。
8.一种包括真空泵(60)及接收器(72)的配置，所述真空泵(60) 及所述接收器(72)通过具有权利要求1至7中任一项所述的特征的振动 阻尼器(14)连接。
9.如权利要求8所述的由真空泵(60)及接收器(72)构成的配置， 其中，所述真空泵(60)为涡轮分子泵，并且所述接收器(72)是电子显 微镜。
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