[发明专利]抛光垫及抛光垫的制造方法

权利要求书

1.一种抛光垫，其特征在于包括：

纤维络合体与高分子弹性体，其中，

所述纤维络合体由采用平均剖面积为0.01μm²至30μm²的超细单纤维而构成的纤维束形成，

所述高分子弹性体的一部分存在于所述纤维束的内部以使所述超细单纤维集束起来，

存在于抛光垫厚度方向剖面上的单位面积的纤维束数目为600束/mm²以上，

空隙以外的部分相对于抛光垫的体积比率为55％至95％。

2.根据权利要求1所述的抛光垫，其特征在于：含有剖面积为40μm²以上的纤维束。

3.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于：在存在于抛光垫厚度方向剖面上的纤维束中，剖面积为40μm²以上的纤维束所占的比例为25％以上。

4.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于：存在于抛光垫厚度方向剖面上的纤维束的平均剖面积为80μm²/束以上。

5.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于：在其至少一表面上，超细单纤维以600根/mm²以上而存在。

6.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于：在所述纤维络合体中，空隙以外的部分的体积比率为35％以上。

7.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于：存在于所述纤维束的内部的高分子弹性体为非多孔质状。

8.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于：具有连通孔结构。

9.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于：所述超细单纤维是由玻璃化转变温度为50℃以上、吸水率为4质量％以下的热塑性树脂形成。

10.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于：所述高分子弹性体的吸水率为0.5质量％至8质量％。

11.根据权利要求10所述的抛光垫，其特征在于：所述高分子弹性体在150℃、干的条件下的储能模量为0.1MPa至100MPa。

12.根据权利要求11所述的抛光垫，其特征在于：抛光垫在50℃、干的条件下的储能模量E′为100MPa至800MPa。

13.根据权利要求11或12所述的抛光垫，其特征在于：在50℃的温水中膨润达到饱和时抛光垫的吸水率为5质量％至45质量％。

14.根据权利要求11或12所述的抛光垫，其特征在于：在50℃的温水中膨润达到饱和时，抛光垫在50℃、湿的条件下的储能模量E′为100MPa至800MPa。

15.一种抛光垫的制造方法，其特征在于包括以下工序：

制造由将水溶性热塑性树脂与非水溶性热塑性树脂熔体纺丝所得的海岛型复合纤维形成的长纤维网的网制造工序；

将多张所述长纤维网重叠并络合以形成网络合片的网络合工序；

使所述网络合片湿热收缩以便使其以面积收缩率为35％以上进行收缩的湿热收缩处理工序；

在热水中将所述湿热收缩处理工序后的网络合片中的所述水溶性热塑性树脂溶解以便形成由超细单纤维构成的纤维络合体的纤维络合体形成工序；以及

使高分子弹性体的水性液含浸在所述纤维络合体中并使其干燥凝固的高分子弹性体填充工序。

16.根据权利要求15所述的抛光垫的制造方法，其特征在于还包括：在所述湿热收缩处理工序与纤维络合体形成工序之间，在所述湿热收缩处理后的网络合片中含浸高分子弹性体的水性液并使其干燥凝固以便使纤维束粘合起来的纤维束粘合工序。

17.根据权利要求15所述的抛光垫的制造方法，其特征在于：所述水溶性热塑性树脂与非水溶性热塑性树脂的质量比率为5/95至50/50。

18.根据权利要求15至17中任一项所述的抛光垫的制造方法，其特征在于：所述水溶性热塑性树脂是聚乙烯醇系树脂。