[发明专利]可固化液体组合物、涂覆方法、无机基材和半导体器件

权利要求书

1.可固化液体组合物，其通过在有机溶剂中在水的存在下使由以下通 式(1A)表示的硅烷化合物或者由通式(1A)表示的硅烷化合物和由以 下通式(1B)表示的硅烷化合物的混合物进行缩合反应或水解缩合反应 而得到，该有机溶剂含有具有羟基的多价金属氧化物的分散细颗粒，

H₂SiX₂   (1A)

HSiX₃    (1B)

其中，X表示卤原子。

2.可固化液体组合物，其通过在有机溶剂中在水和催化剂的存在下使 由以下通式(1A)表示的硅烷化合物或者由通式(1A)表示的硅烷化合 物和由以下通式(1B)表示的硅烷化合物的混合物进行水解缩合反应而 得到，该有机溶剂含有具有羟基的多价金属氧化物的分散细颗粒，

H₂SiX₂   (1A)

HSiX₃    (1B)

其中，X表示具有1～4个碳原子的烷氧基。

3.权利要求1或2的可固化液体组合物，其中上述多价金属氧化物的 细颗粒是二氧化硅、氧化钛、氧化锆、氧化铝、氧化锌、氧化锡的细颗 粒、二氧化硅和氧化钛的复合细颗粒、二氧化硅和氧化锆的复合细颗粒 或二氧化硅和氧化铝的复合细颗粒。

4.权利要求1或2的可固化液体组合物，其中该硅烷化合物是选自由 二氢二氯硅烷、氢三氯硅烷、二氢二甲氧基硅烷、二氢二乙氧基硅烷、 氢三甲氧基硅烷或氢三乙氧基硅烷组成的组中的一种或多种硅烷化合 物。

5.可固化液体组合物，其通过在有机溶剂中使由以下通式(2)表示 的金属卤化物或金属烷氧基化物进行水解和缩合，然后在上述有机溶剂 中在水的存在下使由以下通式(1A)表示的硅烷化合物或由通式(1A) 表示的硅烷化合物和由以下通式(1B)表示的硅烷化合物的混合物进行 缩合反应或水解缩合反应而得到，

MX_m    (2)

其中，M表示多价金属原子，X表示卤原子或具有1～4个碳原子的烷 氧基，“m”为多价金属原子的价态，

H₂SiX₂    (1A)

HSiX₃     (1B)

其中，X表示卤原子。

6.可固化液体组合物，其通过在有机溶剂中使由以下通式(2)表示 的金属卤化物或金属烷氧基化物进行水解和缩合，然后在上述有机溶剂 中在水和催化剂的存在下使由以下通式(1A)表示的硅烷化合物或由通 式(1A)表示的硅烷化合物和由以下通式(1B)表示的硅烷化合物的混 合物进行水解缩合反应而得到，

MX_m    (2)

其中，M表示多价金属原子，X表示卤原子或具有1～4个碳原子的烷 氧基，“m”为多价金属原子的价态，

H₂SiX₂   (1A)

HSiX₃    (1B)

其中，X表示具有1～4个碳原子的烷氧基。

7.权利要求5或6的可固化液体组合物，其中上述多价金属原子是硅、 钛、锆、铝、锌、锡的原子，或者硅与钛、锆或铝的原子的组合。

8.权利要求5或6的可固化液体组合物，其中该硅烷化合物是选自由 二氢二氯硅烷、氢三氯硅烷、二氢二甲氧基硅烷、二氢二乙氧基硅烷、 氢三甲氧基硅烷或氢三乙氧基硅烷组成的组中的一种或多种硅烷化合 物。

9.涂覆无机基材的方法，包括用权利要求1、权利要求2、权利要求 5或权利要求6的可固化液体组合物涂覆无机基材，随后固化所述涂覆 的可固化组分，由此在所述无机基材上形成含有多价金属氧化物的细颗 粒并且具有4H～9H范围内的铅笔硬度的二氧化硅类层。