[发明专利]托盘传输装置

权利要求书

1.一种托盘传输装置，其包括：

托盘把持单元，包括：用于安放托盘的本体单元，该托盘上面装 载有多个半导体装置；提升单元，安装在该本体单元一端，以在与该 本体单元垂直的方向垂直移动，用于在被垂直提升时支撑该托盘一 端；旋转单元，安装在该本体单元另一端，用于当该托盘的一端被该 提升单元支撑时通过旋转而将该托盘的另一端推向该提升单元，从而 支撑该托盘；以及驱动单元，用于驱动该提升单元上下移动并驱动该 旋转单元旋转，和

传输单元，通过传输该本体单元传输安放于该托盘把持单元的托 盘；

其中该提升单元包括具有用于支撑托盘一端的支撑表面的提升 部件，且该提升部件在与该本体单元垂直的方向垂直移动。

2.如权利要求1所述的托盘传输装置，其中，所述提升单元包 括：

具有齿轮部分的该提升部件；

安装于该本体单元一端的第一支架，该第一支架具有用于引导该 提升部件的垂直运动的导向槽；以及

与该齿轮部分连接、可旋转地安装于该第一支架，且与由该驱动 单元旋转的第一旋转轴连接的转动齿轮。

3.如权利要求1所述的托盘传输装置，其中，所述提升单元包 括：

具有用于支撑所述托盘的一端和定位销的支撑表面的提升部件；

安装于所述本体单元一端的第一支架，所述第一支架具有用于引 导所述提升部件的垂直运动的导向槽；以及

可旋转地安装于所述第一支架且与由所述驱动单元转动的第一 旋转轴连接的驱动臂，所述驱动臂具有用于通过支撑在其另一端的提 升部件的定位销而上下移动所述提升部件的上下运动支撑单元。

4.如权利要求2或3所述的托盘传输装置，其中，所述旋转单 元包括：

安装于所述本体单元的另一端的第二支架；

安装于所述第二支架且通过所述驱动单元旋转的第二旋转轴；

与所述第二旋转轴连接，用于当所述第二旋转轴转动时推动所述 托盘的另一端的旋转部件。

5.如权利要求2或3所述的托盘传输装置，其中所述托盘把持 单元包括用于支撑所述托盘两端并在其侧面引导所述托盘运动的一 对导轨。

6.如权利要求1所述的托盘传输装置，还包括：

托盘提升单元，安装于导轨的一端或两端，用于上下移动所述托 盘，所述导轨引导所述托盘的运动；以及

挂钩单元，包括用于支撑所述托盘的侧面或者当所述托盘提升单 元垂直移动时通过线性移动来解除所述托盘的被支撑状态的挂钩部 件。

7.如权利要求6所述的托盘传输装置，其中，所述挂钩部件的 线性移动是由线性驱动单元驱动的，且所述线性驱动单元通过液压或 气压运行。

8.如权利要求7所述的托盘传输装置，其中，所述线性驱动单 元包括：

外壳，其中具有汽缸空间，且覆盖所述挂钩部件的一部分以使所 述挂钩部件能够伸出；以及

活塞部件，插入位于所述外壳内部的所述汽缸空间，与所述挂钩 部件连接，且通过液压或气压移动。