[发明专利]一种真空室门

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空室门，尤其是一种在具有门，可在内部收纳物品结构的真空室中，在上述真空室内部形成真空时，防止受弯曲荷载变形的真空室门。

背景技术

现有技术中，除固体、液体及气体等物质状态之外，利用作为第四物质状态的等离子的方法，广泛用于各个工业领域。

例如，包括日常生活中广泛使用的荧光灯、霓虹灯等，在半导体及平板显示装置的制造工程中，制作晶片或电路板工艺的干法刻蚀、物理或化学气相沉积、感光剂清洗及其他处理等单位工艺中，广泛采用利用等离子的方法。

另外，不能有细菌的医疗机构等，对物品进行消毒、灭菌时，也采用利用等离子的方法。

本发明申请人曾公开等离子灭菌装置并获得多项专利，是利用过氧化氢对医疗器械等被消毒物进行霉菌，并利用等离子将所使用过的过氧化氢分解成非毒性物质。如图1所示，等离子灭菌装置10，包括可形成真空状态的真空室20和形成于一侧，可向真空室20内部收纳医疗器械等被消毒物的门30。

上述真空室20呈只开放一侧的密闭性状，而在开放的一侧，设置有可开闭的门30。

在上述真空室20开口，设置有中央开口的底板40，而在上述底板40前面，设置有可开闭上述底板中央开口的门30，上述门30的一侧通过铰链组件50结合于底板40一侧，上述门30以铰链组件50为中心相对于底板40旋转，从而实现开闭。

因此，以铰链组件50为中心旋转上述门30，通过底板40开口及真空室20一侧开口，将所要灭菌的医疗器械等被消毒物放入真空室，并再次以铰链组件50为中心旋转上述门30，闭合底板40开口及真空室20开口之后，在真空室20中产生等离子进行灭菌处理。

在此，为在真空室20产生等离子对被消毒物进行灭菌，需在上述真空室20内部形成真空状态，当在真空室20形成真空状态之后，因外部大气压的作用，门30将受到向真空室20内侧的力弯曲。

这样，每次在真空室20产生真空时，门30反复向真空室20内侧弯曲，上述门30的铰链组件50受力变形，可能导致整个门30的扭曲。

即，因门30的铰链组件50只设置于门30的一侧，因此在真空室20形成真空时，门30向真空室20内侧弯曲，应力集中在上述铰链组件50，铰链组件50将受力变形，导致门30扭曲，影响真空室20和门30的密封，不能保证真空室20内确实形成真空状态。

因此，需经常更换门30，导致维护费用上升。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种真空室门，防止开闭真空室一侧开口的门，受真空室形成真空时的弯曲荷载变形，保证真空室内部确实形成真空的同时，节省门的维护费用。

为达到上述目的，本发明提供一种真空室门，其特征是，包括：真空室，其一侧形成开口；门，随旋转开闭上述真空室开口；导板，固定结合于上述门外面并保持一定间距，其一端可旋转地结合于固定的铰链组件。

此时，较佳地，在上述门按一定间隔形成一定深度的结合槽，而在上述导板形成与上述结合槽相对应的贯通孔，从而使结合部件的末端贯通上述贯通孔结合于上述结合槽，完成上述门和导板的结合。

另外，较佳地，在上述门上与导板相接触的面，按一定间隔形成凹槽，而在上述导板形成与上述门的凹槽相对应的凹槽，从而在上述门和导板相接触时，通过上述凹槽形成一定大小的空间。

此时，较佳地，上述门的凹槽，在结合槽周围按一定深度形成，而上述导板的凹槽，在贯通孔周围按一定深度形成。

另外，较佳地，在上述空间部设置弹性部件，其一端固定于门的凹槽，另一端固定于导板的凹槽，上述弹性部件采用螺旋弹簧。

另外，还可包括导引衬套，包括：第一部件，形成可使上述结合部件贯通的通孔，可贯通上述导板的贯通孔，在上述空间部滑动一定间隔；第二部件，其直径大于上述导板的贯通孔直径，挂接于上述导板外面。

较佳地，上述导引衬套，在结合部件的末端完全结合于门结合槽的状态下，使其第二部件相对于导板外面，保持一定的间隔G。

另外，较佳地，在上述导板上，还结合可增加导板刚性，具有导引上述导引衬套的通孔的单元。

另外，较佳地，在上述真空室的开口前端，设置有在其中央形成开口的底板，随上述门的旋转开闭上述底板开口及真空室开口。

此时，较佳地，上述铰链组件设置于底板一侧，而上述导板的一侧，可旋转地结合于上述铰链组件。