[发明专利]压电执行器以及制造压电执行器的方法

权利要求书

1.一种用于制造压电执行器的方法，包括下列方法步骤：

-提供全活性压电堆(1)，该全活性压电堆(1)具有交替叠置的压电层 (2)和一直贯通到压电堆(1)的外侧(5，6)的内电极(3，4)，所述内电极 (3，4)分别具有难以或者无法附着涂层(70)的第一区域(31)和易于附着涂 层(80)的第二区域(32)，其中设置所述内电极(3，4)，使得压电执行器 (9)的第一外电极(10)和第二外电极(11)交替接触内电极(3，4)的第一 区域(31)，

-至少在对应于压电执行器(9)的外电极(10，11)的区域中用所述涂层 (70)完全涂覆全活性压电堆(1)的外侧(5，6)，

-在紧邻内电极(3，4)的第一区域(31)的区域中去除该涂层(70)， 并且

-将两个外电极(10，11)敷设到涂层(80)上，使得外电极(10，11) 接触内电极(3，4)的第一区域(31)，并且此外将涂层(80)布置在内电极 (3，4)和外电极(10，11)之间。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过交替叠置至少两个子 堆的方式来制造所提供的压电堆(1)，其中每一个子堆均具有压电层(2)和 布置在压电层上的内电极(3，4)。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，吹刷、氧化和/或冲 洗从压电堆(1)去除的涂层(70)的涂层残留物。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，交替叠置的内电极(3， 4)的第一和第二区域(31，32)分别相对旋转180°。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，内电极(3，4)在其 第二区域(32)中具有实施为碳化物形成剂的材料。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，通过使用至少两种不 同的电极浆料(51，52)涂敷压电层(2)来制造内电极(3，4)，第一种电极 浆料(51)对应于第一区域(31)并且提供对涂层(70)的较差附着性或者不 能附着于涂层(70)，第二种电极浆料(52)则对应于第二区域(32)并且提 供对涂层(70，80)的良好附着性。

7.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，内电极(3，4)具有 铜。

8.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，涂层(70，80)具有 无定形结构。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述涂层(70，80)是基 于碳的层。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述涂层(70，80)是类 金刚石碳层。

11.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，外电极(10，11)布 置在压电堆(1)的两个相对的外侧(5，6)上。

12.一种压电执行器，具有

-第一和第二外电极(10，11)，

-全活性压电堆(1)，具有交替叠置的压电层(2)和一直贯通到压电堆 (1)的外侧(5，6)的内电极(3，4)，其中所述内电极(3，4)分别具有难 以或者无法附着涂层(70)的第一区域(31)和易于附着涂层(80)的第二区 域(32)，其中所述内电极(3，4)以其第一区域(31)交替接触第一和第二 外电极(10，11)，以及

-布置在压电堆(1)的外侧(5，6)上的涂层(80)，在该涂层(80)上 敷设外电极(10，11)，并且在外电极(10，11)接触内电极(3，4)的区域 中去除该涂层(80)，使得外电极(10，11)接触内电极(3，4)的第一区域 (31)，并且此外将涂层(80)布置在内电极(3，4)和外电极(10，11)之间，

-内电极(3，4)在其第二区域(32)中具有实施为碳化物形成剂的材料。

13.根据权利要求12所述的压电执行器，其特征在于，交替叠置的内电 极(3，4)的第一和第二区域(31，32)分别相对旋转180°。