[发明专利]离子注入系统的电源供应器

权利要求书

1、一种离子注入系统的电源供应器，包括：

电源转换器；

高压发电单元，从所述电源转换器接收源电力，其中所述高压发电单元包括用以提供倍增到所需的输出电平的输出电力的高压变压器；以及

外壳，包括介电材质，所述介电材质包围所述高压发电单元的至少一部份。

2、根据权利要求1所述的离子注入系统的电源供应器，还包括与所述外壳连通的气体供应装置。

3、根据权利要求2所述的离子注入系统的电源供应器，还包括电控阀门机构，控制从所述气体供应装置到所述外壳内的气流。

4、根据权利要求1所述的离子注入系统的电源供应器，其中所述介电材质包括符合FM4910标准或UL94V-0标准的材质。

5、根据权利要求1所述的离子注入系统的电源供应器，其中所述外壳包括介电强度值大于32kV/英寸的绝缘媒体。

6、根据权利要求1所述的离子注入系统的电源供应器，还包括耦接于所述高压发电单元的接口控制总线，以接收用来指示所述高压发电单元的高压输出电平的控制信号。

7、根据权利要求6所述的离子注入系统的电源供应器，还包括以通讯方式耦接于所述接口控制总线并且响应所述控制信号的电路，基于所述控制信号来调整所述高压输出电平。

8、根据权利要求7所述的离子注入系统的电源供应器，其中所述电路包括堆栈式驱动器。

9、根据权利要求8所述的离子注入系统的电源供应器，其中所述堆栈式驱动器包括具有电力输入以及电力输出的控制电路，所述电力输出供应到所述高压发电单元的电力输入。

10、根据权利要求1所述的离子注入系统的电源供应器，其中所述高压发电单元的输出耦接到离子束加速器的电力输入端。

11、一种离子注入装置，包括：

离子源，以产生离子束；

至少一离子束加速器，将所述离子束加速到所需的能量水平；

电源供应器，可操作地连接于所述离子束加速器；

至少一质量分析仪，从所述离子束中移除不需的离子物项；

至少一光束定形元件，定形且导引所述离子束；

基板处理端站，所述定形的离子束入射于所述基板处理端站上；以及

控制器，以通讯方式耦接于所述离子源、所述电源供应器以及所述端站，其中所述电源供应器包括：

电源转换器；

高压发电单元，从所述电源转换器接收源电力；以及

外壳，包括介电材质，以包围所述高压发电单元的至少一部份。

12、根据权利要求11所述的离子注入装置，其中所述高压发电单元包括用以提供输出电力的变压器，所述输出电力倍增至所需的输出电平并且供应至所述加速器。

13、根据权利要求11所述的离子注入装置，其中所述电源供应器还包括气体供应装置，以将气体传送至所述外壳。

14、根据权利要求11所述的离子注入装置，其中所述电源供应器还包括电控阀门机构.以控制进入所述外壳的气流。

15、根据权利要求11所述的离子注入装置，其中所述外壳包括符合FM4910标准或UL94V-0标准的绝缘材质。

16、根据权利要求11所述的离子注入装置，其中所述外壳包括电性绝缘媒体，所述电性绝缘媒体的介电强度值大于32k伏特/英寸。

17、根据权利要求11所述的离子注入装置，其中所述电源供应器还包括堆栈式驱动器。

18、根据权利要求17所述的离子注入装置，其中所述堆栈式驱动器包括耦接于所述高压发电单元的接口控制总线，以接收用来指示电压输出电平的控制信号，并使所述高压发电单元基于所述控制信号来向所述加速器输出一电力电平。