[发明专利]用于光学相干断层扫描的系统和方法以及用于校准这种系统的方法

权利要求书

1.用于光学相干断层扫描的系统，其具有：

-干涉仪(10)，该干涉仪用于输出用来照射样本(1)的光(4)， 其中该干涉仪(10)包括分束器(13)和至少一个反射器(12)，该 反射器到分束器(13)的光学距离(l)能够变化，

-样本物镜(41)，通过该样本物镜把由该干涉仪(10)所输出 的光(4)聚焦到位于该样本(1)中的焦点(F)上，以及

-探测器(30)，该探测器用于探测由该样本(1)所反射的光， 其特征在于，

-在该反射器(12)到该分束器(13)的光学距离(l)的变化期 间，分别在该样本(1)的多个不同深度(T1-T3)中反射的光被该探 测器(30)探测，并且

-在探测分别在该样本(1)的不同深度(T1-T3)中反射的光期 间，该样本物镜(41)的成像特性以如下方式而被改变：该焦点(F) 位于该样本(1)的相应深度(T1-T3)的范围(K)中，

其中该样本物镜(41)包含一个或多个可移动地设置的透镜(42)， 透镜的位置与该反射器(12)到该分束器(13)的光学距离(l)的变 化同步地以如下方式被改变：该焦点(F)位于该样本(1)的相应深 度(T1-T3)的范围(K)中；

其中该反射器(12)到该分束器(13)的光学距离(l)的改变以 一个第一速度v1来进行，所述透镜(42)的位置以一个第二速度v2 被改变，其中该第二速度小于反射器(12)到分束器(13)的光学距 离(l)改变的第一速度v1，v2＜v1。

2.根据权利要求1所述的系统，其中该样本物镜(41)包括至 少一个自适应透镜，该自适应透镜的成像特征与该反射器(12)到该 分束器(13)的光学距离(l)的变化同步地以如下方式被改变：该焦 点(F)位于该样本(1)的相应深度(T1-T3)的范围(K)中。

3.根据权利要求1所述的系统，其中该反射器(12)到该分束 器(13)的光学距离(l)改变的第一速度v1与所述透镜(42)的位 置改变的第二速度v2之比根据该样本(1)的折射率(n)来选择。

4.根据权利要求3所述的系统，其中该反射器(12)到该分束 器(13)的光学距离(l)改变的第一速度v1与所述透镜(42)的位 置改变的第二速度v2之比处于在0.8·(2·n-1)与1.2·(2·n-1)之 间的范围中：0.8·(2·n-1)≤v1/v2≤1.2·(2·n-1)，其中，n表示 样本的折射率。

5.根据权利要求4所述的系统，其中该反射器(12)到该分束 器(13)的光学距离(l)改变的第一速度v1与所述透镜(42)的位 置改变的第二速度v2之比等于2·n-1，v1/v2≈2·n-1。

6.根据权利要求1所述的系统，其中设置有压电执行器(40)， 通过所述压电执行器能够在一个方向(R)上改变该样本物镜(41) 的所述透镜的位置。

7.根据权利要求1所述的系统，其中在该反射器(12)的区域 中以及在该样本物镜(41)的透镜(42)的区域中分别设置有位置传 感器(5或39)，所述位置传感器能够探测该反射器(12)到该分束 器(13)的光学距离(l)或者所述透镜(42)的位置并且能够将其转 换为相应的距离信号或位置信号。

8.根据权利要求7所述的系统，其中设置有控制单元(16)， 该控制单元根据该距离信号来控制该反射器(12)到该分束器(13) 的光学距离(l)和/或根据该位置信号来控制所述透镜(42)的位置。

9.根据权利要求7所述的系统，其中设置有控制单元(16)， 该控制单元根据所述透镜(42)的位置信号来控制该反射器(12)到 该分束器(13)的光学距离(l)和/或根据该距离信号来控制所述透 镜(42)的位置。

10.根据权利要求1或2所述的系统，其中在该样本物镜(41) 的样本侧端的区域中设置有一个参考面(45)，在该参考面上通过该 样本物镜(41)聚焦到该样本(1)上的光的一部分能够被反射并能 够由该探测器(30)来探测。