[发明专利]切断方法及线锯装置

权利要求书

1.一种切断方法，是将钢线卷绕于多个附凹沟滚筒，一边供给切断用 浆液至该附凹沟滚筒，一边使上述钢线行进地压抵晶棒，将该晶棒切断成芯 片状的方法，其特征在于：

切断上述晶棒时，测定于轴方向变化的晶棒的位移量，然后根据该测定 出来的晶棒的轴方向的位移量，做成相对于切入深度的晶棒的轴方向的位移 量的曲线，

然后基于该做成的曲线，来控制上述附凹沟滚筒的轴方向的位移量，

以此，一边控制相对于在上述轴方向变化的晶棒的全长的上述钢线的相 对位置，一边切断晶棒。

2.如权利要求1所述的切断方法，其中在上述附凹沟滚筒的轴中，流 通冷却水，通过调节该冷却水的温度及/或流量来控制上述附凹沟滚筒的轴方 向的位移量。

3.如权利要求1所述的切断方法，其中上述晶棒的轴方向的位移量的 测定是利用热电偶或差动式位移计来进行。

4.如权利要求2所述的切断方法，其中上述晶棒的轴方向的位移量的 测定是利用热电偶或差动式位移计来进行。

5.一种线锯装置，是将钢线卷绕于多个附凹沟滚筒，一边供给切断用 浆液至该附凹沟滚筒，一边使上述钢线行进地压抵晶棒，将其切断成芯片状 的线锯装置，其特征在于，至少具备：

一晶棒位移量测定机构，用以测定上述要被切断的晶棒的轴方向的位移 量；以及

一附凹沟滚筒位移量控制机构，其基于根据该晶棒位移量测定机构所测 得的晶棒的轴方向的位移量而做成的，相对于切入深度的晶棒的轴方向的位 移量的曲线，反馈在附凹沟滚筒的轴中流通的冷却水的温度及/或流量，来 控制上述附凹沟滚筒的轴方向的位移量。