[发明专利]成膜方法、导热部件、功率模块、车辆用变换器和车辆

权利要求书

1.一种成膜方法，其特征在于，将固相状态的金属粉末与压缩气体一起喷射到基材表面，由所述金属粉末在所述基材表面成膜为被膜，其中，

作为所述金属粉末，使用至少含有表观密度是1.4～2.0g/cm³、平均粒径是25μm以下的成膜用粉末的粉末。

2.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，作为所述成膜用粉末，使用由10μm以下的粉末造粒而成的造粒粉末。

3.根据权利要求2所述的成膜方法，其特征在于，作为造粒成所述成膜用粉末的造粒粉末，使用气雾化粉末、水雾化粉末、或电解粉末。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的成膜方法，其特征在于，作为所述金属粉末，使用铜或铜合金的粉末。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的成膜方法，其特征在于，作为所述金属粉末，使用含有60质量％以上的所述成膜用粉末的金属粉末。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的成膜方法，其特征在于，作为所述压缩气体，使用所述压缩气体的压力为0.4～1.0MPa的压缩气体。

7.根据权利要求4所述的成膜方法，其特征在于，对所述金属粉末进行加热，以便在50℃以上的温度条件下使所述金属粉末向所述基材表面喷射。

8.根据权利要求5所述的成膜方法，其特征在于，对所述金属粉末进行加热，以便在50℃以上的温度条件下使所述金属粉末向所述基材表面喷射。

9.根据权利要求6所述的成膜方法，其特征在于，对所述金属粉末进行加热，以便在50℃以上的温度条件下使所述金属粉末向所述基材表面喷射。

10.一种导热部件，其特征在于，利用权利要求1～9中任一项所述的成膜方法，在所述基材表面成膜有所述被膜，其中，

所述被膜是气孔率为5～50体积％的多孔被膜。

11.一种功率模块，其特征在于，具备权利要求10所述的导热部件，其中，

所述导热部件的基材是构成所述功率模块的散热器部件，

所述导热部件的被膜配置于构成所述功率模块的装载有功率元件的绝缘部件和所述散热器部件之间。

12.一种车辆用变换器，具备权利要求11所述的功率模块。

13.一种车辆，具备权利要求12所述的车辆用变换器。