[发明专利]涂布装置、涂布体的制造方法及流体喷出装置有效
申请号: | 200880006435.X | 申请日: | 2008-02-27 |
公开(公告)号: | CN101622076A | 公开(公告)日: | 2010-01-06 |
发明(设计)人: | 佐藤强;近藤弘康;樱井直明;山边纯成;添田胜之;小泉洋;木村修一;木下静雄 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;佳能株式会社 |
主分类号: | B05C9/14 | 分类号: | B05C9/14;B05C5/00;B05D1/26;B05D3/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 史雁鸣 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 涂布体 制造 方法 流体 喷出 | ||
1.一种涂布装置,其特征在于,所述涂布装置包括:
液滴喷射部(4),所述液滴喷射部(4)通过使含有具有抑制功能 的水溶性高分子材料和吸水性低蒸气压溶剂的溶液成为液滴状,向涂 布对象物(2)喷射,而将具有大致相同直径的多个液滴涂布到前述涂 布对象物(2)的表面,
减压干燥部(5),所述减压干燥部(5)通过对涂布到前述涂布对 象物(2)的表面的前述多个液滴进行减压干燥,而在前述涂布对象物 (2)的表面形成维持了前述液滴的直径的多个残留物,
重新润湿干燥部(6),所述重新润湿干燥部(6)通过向形成在前 述涂布对象物(2)的表面的前述多个残留物喷吹包含有能够溶解前述 多个残留物的溶剂的溶解用气体,使前述多个残留物溶解,而在前述 涂布对象物(2)的表面形成维持了前述液滴的直径的多个涂着体,通 过向所形成的前述多个涂着体喷吹干燥气体使前述多个涂着体干燥, 而形成在维持前述液滴的直径的同时且具有大致均匀的厚度的多个溶 质物。
2.如权利要求1所述的涂布装置,其特征在于,所述涂布装置还 包括输送部(8),所述输送部(8)进行在前述液滴喷射部(4)、前述 减压干燥部(5)及前述重新润湿干燥部(6)各自之间的前述涂布对 象物的输送。
3.如权利要求1所述的涂布装置,其特征在于,前述重新润湿干 燥部(6)以能够改变与前述涂布对象物(2)的移动方向在水平面内 垂直的方向上的前述溶解用气体的流量分布的方式形成。
4.如权利要求1所述的涂布装置,其特征在于,前述重新润湿干 燥部(6)以能够改变与前述涂布对象物(2)的移动方向在水平面内 垂直的方向上的前述干燥气体的流量分布的方式形成。
5.如权利要求1所述的涂布装置,其特征在于,
前述重新润湿干燥部(6)具有:
向形成在前述涂布对象物(2)的表面的前述多个残留物喷吹前述 溶解用气体的溶解喷吹部(6b),
向形成在前述涂布对象物(2)的表面的前述多个涂着体喷吹前述 干燥气体的干燥喷吹部(6c),
前述溶解喷吹部(6b)具有:
喷出前述溶解用气体的溶解喷出头(43),
向前述溶解喷出头(43)供应前述溶解用气体的溶解用气体供应 部(45),
将前述溶解喷出头(43)和前述溶解用气体供应部(45)连接起 来且使前述溶解用气体通过的溶解用气体供应管(46),
前述干燥喷吹部(6c)包括:
喷出前述干燥气体的干燥喷出头(47),
向前述干燥喷出头(47)供应前述干燥气体的干燥气体供应部 (49),
将前述干燥喷出头(47)和前述干燥气体供应部(49)连接起来 且使前述干燥气体通过的干燥气体供应管(50)。
6.如权利要求5所述的涂布装置,其特征在于,前述溶解用气体 供应管(46)在其外周具有加热器(N)。
7.如权利要求5所述的涂布装置,其特征在于,前述重新润湿干 燥部(6)具有吸入由前述溶解喷吹部(6b)喷吹的前述溶解用气体并 排出到外部的排气部(6d)。
8.如权利要求7所述的涂布装置,其特征在于,
前述排气部(6d)具有:
吸引由前述溶解喷吹部(6b)喷吹的前述溶解用气体的吸引头 (51),
向前述吸引头(51)提供吸引力的吸引部(53),
将前述吸引头(51)和前述吸引部连(53)连接起来且使所吸引 的前述溶解用气体通过的排气管(54)。
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B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备,所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组,或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法,不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体,或者用同一种液体或其他流体涂布二次
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