[发明专利]估计待测器件的扫描链中的固定型缺陷的位置有效
申请号: | 200880006537.1 | 申请日: | 2008-02-28 |
公开(公告)号: | CN101627370A | 公开(公告)日: | 2010-01-13 |
发明(设计)人: | 菲尔·布里森;约翰·费迪尼 | 申请(专利权)人: | 惠瑞捷(新加坡)私人有限公司 |
主分类号: | G06F11/00 | 分类号: | G06F11/00 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 宋 鹤;南 霆 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 估计 器件 扫描 中的 固定 缺陷 位置 | ||
1.一种用于估计待测器件的扫描链中的固定型缺陷的位置的方法,包括:
在扫描图样被从所述扫描链移出时,针对逻辑条件的存在性来实时地评估所述扫描图样;
维持到所述扫描图样的当前正被评估的一部分的参考;
当在所述参考与存储值具有预定关系时识别出存在所述逻辑条件之后,使用所述参考来覆写所述存储值;以及
使用所述存储值来估计所述扫描链中的所述固定型缺陷的位置。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述参考是通过更新计数来维持的。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述逻辑条件是逻辑电平。
4.根据权利要求1所述的方法,其中,所述逻辑条件是逻辑跳变。
5.根据权利要求4所述的方法,其中,通过比较所述扫描图样的相邻比特的逻辑电平,来针对所述逻辑条件的存在性评估所述扫描图样。
6.根据权利要求4所述的方法,还包括:
读取从所述扫描链移出的扫描图样的最后比特的值;以及
使用所述最后比特的值来确定所述固定型缺陷的类型。
7.根据权利要求1所述的方法,其中,所述预定关系是:所述参考大于所述存储值。
8.根据权利要求1所述的方法,还包括:
为从所述扫描链移出的多个扫描图样中的每一个重复所述评估、维持、识别和覆写步骤;以及
在针对所述逻辑条件评估所述多个扫描图样中的任意一个扫描图样之前,而不是在针对所述逻辑条件评估所述多个扫描图样中的各个扫描图样之间,对保存所述存储值的存储器进行初始化;
其中,所述存储值被用于在为所述多个扫描图样中的每一个重复评估、维持、识别和覆写步骤之后,估计所述扫描链中的所述固定型缺陷的 位置。
9.一种用于估计待测器件的扫描链中的固定型缺陷的位置的装置,包括:
控制系统,被配置为获得或维持到扫描图样的当前正被所述装置评估的一部分的参考;
存储器,被配置为存储表示所述固定型缺陷的估计位置的值;
比较器,被配置为当所述参考与所述存储器中存储的值具有预定关系时,断言控制信号;以及
评估电路,被配置为i)在扫描图样被从所述扫描链移出时接收该扫描图样,ii)针对逻辑条件的存在性实时地评估所述扫描图样,以及iii)当在所述控制信号被断言时识别出存在所述逻辑条件之后,使得使用所述参考来覆写所述存储器中存储的值。
10.根据权利要求9所述的装置,其中,所述控制系统包括计数器,其中,所述参考是所述计数器所维持的计数,其中,所述扫描图样中的比特响应于扫描时钟而被从所述扫描链移出,并且其中,所述控制系统使得所述计数器响应于所述扫描时钟而递增计数。
11.根据权利要求10所述的装置,其中,所述控制系统被配置为在多个扫描图样中的每一个被从所述扫描链移出之前,复位所述计数器。
12.根据权利要求9所述的装置,其中,所述控制系统还被配置为在所述评估电路对多个扫描图样进行评估之前,而不是在评估所述多个扫描图样中的各个扫描图样之间,初始化所述存储器。
13.根据权利要求9所述的装置,其中,所述评估电路包括逻辑与门,该逻辑与门具有被配置为接收所述扫描图样的第一输入、被配置为接收所述控制信号的第二输入、和耦合到所述存储器的加载输入的输出。
14.根据权利要求9所述的装置,其中,所述评估电路包括:
反相器,被配置为接收所述扫描图样并产生反相扫描图样;以及
逻辑与门,该逻辑与门具有被配置为接收所述反相扫描图样的第一输入、被配置为接收所述控制信号的第二输入、和耦合到所述存储器的加载输入的输出。
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