[发明专利]气体分析器

说明书

技术领域

本发明涉及气体分析器，特别涉及利用四极质谱分析法等的气体分析器测定値修正 方法。

背景技术

已知该种残余气体分析器具备传感器单元与装置本体而形成，传感器单元具有包含 离子化部、质谱分析部与检测部的传感器部及交流产生器部，装置本体以缆线连接该传 感器单元(参照例如非专利文献1)。

又根据该残余气体分析器，首先，自高温丝极发射的热电子影响导入离子化部的残 余气体而将其离子化。以透鏡加速、收敛产生的离子，将其导往质谱分析部。在质谱分 析部中对例如4条圆柱形电极(四极)施加直流及交流电压以筛选离子。作为电流以检 测部的法拉第杯检测分离的离子。该离子电流会随残余气体量(分压)变化，故可高精 度测定残余气体。

然而存在有下列问题，四极质谱分析器的离子电流与残余气体量(分压)成比例增 加时，周围气体压力一旦升高，飞行于四极部内的离子与气体的碰撞机率即会增加而导 致离子难以到达检测部，且因空间电荷的影响等检测敏感度会变化。因此，四极部配置 的周围气体压力一旦高于既定値(例如约1×10^-2～1×10^-1Pa)，离子电流的增加即会变 缓慢。因此，离子电流一旦超过峰値即会减少(参照图6)。

另一方面，一旦缩短构成四极部的圆柱形电极，即使周围气体压力高通过四极部内 的离子与气体的碰撞机率也小，周围气体压力即使在该既定値以上也可进行测定。

然而存在有一旦缩短圆柱形电极分辨率即会降低的问题。

又，如专利文献1所示，以往有以下的气体分析器，在离子化部附近设置用以测定 全压的全压测定部(在专利文献1中为符号11)，利用离子化部附近的全压修正测定値 的分压。

然而，在这样的气体分析器中存在以下的问题，即用于修正的全压测定值若不正确， 即使利用该全压修正分压，也无法进行正确的修正。实际上如此测定的全压也如上述， 周围气体压力一旦高于既定値(约1×10^-1～1Pa)，周围气体压力的变化即不成比例。存 在特别是全压一旦超过峰値即无法利用全压修正分压的问题。

非专利文献1：池田亨，「专辑论文超小型残余气体分析器PressureMaster RGA系列」， HORIBA Technical Reports，堀场制作所株式会社，2004年3月，第28册，p.12-15

专利文献1：日本特开平11-31473号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在此，为一举解决上述问题点，本发明的主要课题是期望其可维持分辨率并可在测 定値不与周围气体压力的变化成比例增加的区域进行修正。

解决课题的手段

即本发明的气体分析器，其特征在于，包含：

离子化部，用以离子化试样气体；

第1离子检测部及第2离子检测部，夹着该离子化部而设置，并且离开该离子化部 的距离相互不同，以检测来自该离子化部的离子；

过滤器部，设在该离子化部及该第1离子检测部之间，选择性地使来自该离子化部 的离子通过；及

运算装置，利用通过该第1离子检测部所得的试样气体第1全压、通过该第2离子 检测部所得的试样气体第2全压、自所述离子化部起至所述第1离子检测部为止的距离、 以及自所述离子化部起至所述第2离子检测部为止的距离修正通过该第1离子检测部所 得的由该过滤器部所选择的特定成分分压。

若如此，利用通过离开离子化部的距离不同的第1离子检测部及第2离子检测部所 得的试样气体第1全压及第2全压修正选择离子的分压，故可维持分辨率，并即使在相 对于例如周围气体压力的上升、二离子检测部的测定値超过峰値而减少的压力区域也可 进行修正。即可使以往可测定分压的极限値(分压测定极限値)尽量朝高压侧偏移。且 其是将过滤器部配置在第1离子检测部与离子化部之间的构造，故只要在利用四极质谱 分析法等质谱分析法的已知的气体分析器的构成中使第2离子检测部因与第1离子检测 部的关系夹着离子化部而设置即可，故可直接使用既存的气体分析器。

可考虑使该运算装置利用该第1全压与该第2全压比、自所述离子化部起至所述第 1离子检测部为止的距离、以及自所述离子化部起至所述第2离子检测部为止的距离修 正该分压以作为具体的修正方法。

且使用上述气体分析器的测定结果修正方法，其特征在于，包含：