[发明专利]用于监控真空度的装置

权利要求书

1.一种用于监控真空室中的、尤其真空开关管中的真空度的装置(1，31，41，61)，其具有依据真空室中的压力改变其物理性能的构件(13)，以及具有用于检测所述构件性能变化的设备，其特征在于，所述构件(13)是所述真空室与真空室的周围环境之间的可变形的隔膜，并且通过用于检测构件(13)性能变化的设备(17，25，33，35，43，63)，来采集所述隔膜变形的极限值。

2.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述隔膜是弹性的可变形的薄膜。

3.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述隔膜由波纹管(13)构成。

4.按照权利要求3所述的装置，其特征在于，所述波纹管(13)是金属波纹管。

5.按照权利要求3或4中任一项所述的装置，其特征在于，所述波纹管的变形通过至少一个止挡(21，23)来限制。

6.按照权利要求1至5中任一项所述的装置，其特征在于，所述隔膜(13)的变形可传输到可在两个终端位置之间移动的显示元件(17，25，33，43，63)上。

7.按照权利要求6所述的装置，其特征在于，所述显示元件是在所述隔膜(13)变形最小时完全被指示器壳体(7)遮蔽、而在隔膜(13)变形最大时，伸出指示器壳体(7)、直到可看见其显示端的测量杆(25)。

8.按照权利要求6所述的装置，其特征在于，可根据所述显示元件(33，35，43，63)的位置，对从光波导中射出的光束进行调制。

9.按照权利要求8所述的装置，其特征在于，从所述光波导中射出的光束，在其射向接收光的光波导的射程中，可通过至少一个遮光板(43，63)被中断。

10.按照权利要求9所述的装置，其特征在于，将配备两个具有不同颜色的滤色器(65，67)的遮挡装置的显示元件(63)设计成，使得在显示元件(63)的两个终端位置中的每一个终端位置上，不同颜色的光，可到达接收光的光波导(51)上。