[发明专利]用于多靶溅射系统的电源装置

权利要求书

1.一种用于同时为多个溅射源供电的电源装置，包括：

DC电源；

电荷累计器，其耦合到所述电源；

多个功率传输开关，每一个所述功率传输开关耦合到所述电荷累计器与所述多个溅射源中的相应一个之间；以及，

控制器，启动所述功率传输开关中的每一个以单独控制从所述电荷累计器传输到所述多个溅射源中的每一个的功率量，

其中，所述电荷累计器包括多个电容，每一个所述电容耦合到所述功率传输开关中的一个。

2.根据权利要求1所述的电源装置，还包括多个充电开关，每一个所述充电开关耦合在所述电源与所述多个电容中的一个之间。

3.根据权利要求1所述的电源装置，其中，所述控制器包括多个反馈电路，每一个所述反馈电路耦合到所述功率传输开关中的一个。

4.根据权利要求1所述的电源装置，其中，所述多个反馈电路中的每一个还包括电弧检测电路。

5.根据权利要求1所述的电源装置，还包括多个放电路径，每一个所述放电路径耦合所述溅射源中的一个。

6.根据权利要求5所述的电源装置，其中，所述多个放电路径中的每一个包括正电势节点。

7.根据权利要求6所述的电源装置，其中，所述控制器包括多个控制电路，每一个所述控制电路耦合到所述功率传输开关中的一个。