[发明专利]垂直延伸腔表面发射激光器以及用于制造该激光器的发光部件的方法

权利要求书

1.垂直延伸腔表面发射激光器，包括至少下面的部件：

-延伸反射镜(11)，其形成延伸腔的第一端镜，

-用于产生激光的波长的分布式布拉格反射器(5)，其形成该 延伸腔的第二端镜，

-用于光发射的激活区(4)，其设置在该分布式布拉格反射器 的内侧，所述激活区(4)和所述分布式布拉格反射器(5)形成叠层 (2)的至少一部分，

-光学透明衬底(8)，其位于所述延伸腔之内，附接到该叠层 (2)上，以及

-散热装置(10)，其附接到叠层(2)，位于该分布式布拉格 反射器(5)的外侧，

其中，电流注入层(13)夹在激活区(4)与光学透明衬底(8) 中间并且被设计或设置成允许激光器操作，

并且其中附加的金属层(7)夹在所述电流注入层(13)和所述 光学透明衬底(8)中间。

2.根据权利要求1的垂直延伸腔表面发射激光器，

其中另一分布式布拉格反射器(3)夹在激活区(4)和电流注入 层(13)中间，对于产生激光的波长来说，该另一分布式布拉格反射 器的反射率低于形成第二端镜的所述分布式布拉格反射器(5)的反 射率，所述另一分布式布拉格反射器(3)由在4对和13对之间的层 形成。

3.根据权利要求1的垂直延伸腔表面发射激光器，

其中该光学透明衬底(8)具有二向色涂层，对于产生激光的波 长来说，该二向色涂层的反射率低于形成第二端镜的所述分布式布拉 格反射器(5)的反射率。

4.根据权利要求1的垂直延伸腔表面发射激光器，

其中所述光学透明衬底(8)是玻璃衬底。

5.根据权利要求1的垂直延伸腔表面发射激光器，

其中另外的光学部件(12)设置在所述延伸腔之内且位于所述延 伸反射镜(11)和所述光学透明衬底(8)之间。

6.根据权利要求2的垂直延伸腔表面发射激光器，

其中形成第二端镜的所述分布式布拉格反射器(5)由多于20对 的层形成。

7.根据权利要求1的垂直延伸腔表面发射激光器， 其中所述金属层(7)被结构化以影响激活区(4)中的电流分布和/ 或激光器的光学性能。

8.根据权利要求1的垂直延伸腔表面发射激光器，

其中所述金属层(7)设置在该延伸腔中形成的激光辐射的驻波 节点中。

9.根据权利要求1的垂直延伸腔表面发射激光器，

其中所述散热装置(10)包括用于电接触所述叠层(2)的导体 结构。

10.根据权利要求1的垂直延伸腔表面发射激光器，

其中该光学透明衬底(8)设计成执行光学功能。

11.根据权利要求1的垂直延伸腔表面发射激光器，

其中该光学透明衬底(8)由不同材料层的夹层结构形成，所述 不同材料层中的至少一些具有不同的光学功能。

12.根据权利要求10的垂直延伸腔表面发射激光器，其中该光 学透明衬底(8)设计成形成起偏器、透镜(16)或倍频晶体。

13.一种制造垂直延伸腔表面发射激光器的发光部件的方法，包 括至少下面的步骤：

-使叠层(2)在半导体衬底(1)上外延地生长，所述叠层(2) 包括至少多个层，所述多个层形成用于光发射的激活区(4)、形成 上部分布式布拉格反射器(5)的上层序列，以及夹在该半导体衬底 (1)和激活区(4)中间的掺杂n或p的电流注入层(13)，

-将机械支撑(6)或基台附接到该叠层(2)的上侧，

-去掉该半导体衬底(1)，以及

-将光学透明衬底(8)键合到叠层(2)的下侧，

其中在去掉半导体衬底(1)和将光学透明衬底(8)键合到叠层 (2)的下侧的步骤之间，将金属化层(7)沉积在该叠层(2)的下 侧。