[发明专利]气化器、气化组件、成膜装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种使液态原料气化、生成原料气体的气化器、构成该气化器的气化组件、具有该气化器的成膜装置。

背景技术

一般，作为形成由电介质、金属、半导体等构成的各种薄膜的方法，已知有将有机金属化合物等的有机原料气体供给成膜室，与氧和氨等其它气体反应进行成膜的化学气相沉积(CVD：Chemical VaporDeposition)法。在这样的CVD法中使用的有机原料大多数是常温下为液体或固体的原料，因此需要用于使有机原料气化的气化器。例如，上述有机原料通常通过使用溶剂稀释或者溶解而形成液态原料。

该液态原料从设置在气化器上的喷雾喷嘴，例如伴随着载气的流通向被加热的气化室内喷雾，由此使之气化，形成原料气体。将该原料气体供给成膜室，在此与其它气体反应，由此在基板上形成规定的膜(例如，参照专利文献1～5)。

专利文献1：日本特开2000-58528号公报

专利文献2：日本特开2005-109349号公报

专利文献3：日本特开平03-126872号公报

专利文献4：日本特开平06-310444号公报

专利文献5：日本特开平07-094426号公报

发明内容

但是，气化器所要求的原料气体的流量根据液态原料的种类或使用该原料气体进行成膜等的工艺处理的内容不同而不同。由此，在现有技术中，设置根据气化器所要求的原料气体的流量，设计了喷雾喷嘴的喷出口或载气流路的尺寸等的气化器，使得液态原料的气化效率达到最高。因此，现有技术中，在使用原料气体的工艺处理的内容变更时，有必要将气化器整体更换为与该工艺处理所需要的原料气体流量对应的其他气化器。

但是，如上所述，每次变更工艺处理的内容时，在更换气化器整体中，每次都需要设计与该原料气体流量对应的气化器，并进行该气化器的可靠性评价，因此结果产生如下问题：降低了制造总量，并且增加了气化器的开发成本。另外，需要对与上述原料气体的流量对应的多种气化器进行管理等，使气化器的管理变得繁琐。

另外，在上述这样的使从喷雾喷嘴喷出的液态原料气化、生成原料气体的气化器中，从气化效率的观点出发，希望使喷雾喷嘴的喷出口尽量地小，喷出尽量小的尺寸的液滴。

这样，在使喷雾喷嘴的喷出口尽量地小的情况下，为了增加原料气体流量，例如考虑可以增加载气的流量。但是，增加载气的流量也是有限的，因此，在现有技术中，为了更多地增加原料气体的流量，不得不加大喷雾喷嘴的喷出口。由此，从喷雾喷嘴喷出的液态原料的液滴的尺寸也变大，气化效率降低。这样，在现有的气化器中，维持气化效率并使原料气体流量成为大流量是极为困难的。

因此，本发明是鉴于上述问题而完成的发明，其目的在于，提供一种从要求小流量的原料气体的情况到要求大流量的原料气体的情况，在要求各种原料气体的流量的情况下，不降低气化效率，能够简单地变更为与该原料气体流量对应的构成的气化器等。

为了解决上述问题，根据本发明的一个观点，提供一种气化器，其特征在于：其连接有多个块状的气化组件，该气化组件使液态原料气化、生成原料气体，上述各气化组件具有：喷出口，喷出上述液体原料；气化室，使从上述喷出口喷出的液态原料气化，生成原料气体；液态原料流路，至少贯通与其它气化组件接合的接合面而形成；和喷出流路，在上述液态原料流路的途中连通，将在上述液态原料流路流通的液态原料导入上述喷出口，上述各气化组件利用其接合面与其它气化组件接合，由此使上述各气化组件的液态原料流路全部连通。

根据这样的发明，各气化组件利用其接合面与其它气化组件接合，由此使各气化组件的液态原料流路全部连通，作为共通的原料液室发挥作用。由此，如果以规定的压力，向连接的各气化组件中的至少一个气化组件的液态原料流路供给液态原料，那么经由连接的各气化组件的液态原料流路，也向其它气化组件供给液态原料进行填充，由此能够通过各气化组件的喷出流路从喷出口一齐地喷出液态原料，在各气化组件的气化室中使液态原料气化。由此，只要增减连接的气化组件的数量，就能够简单地调整在气化器整体生成的原料气体的流量。