[发明专利]振荡器装置、光偏转器和使用该光偏转器的成像设备

权利要求书

1.一种振荡器装置，包括振荡系统、驱动部件和控制装置，所述 驱动部件配置成驱动所述振荡系统，所述控制装置配置成确定要从所 述驱动部件施加到所述振荡系统的驱动力，其特征在于：

所述振荡系统包括第一振荡可动元件、第二振荡可动元件和支撑 部件；

所述第一振荡可动元件由第一弹性支撑元件支撑，用于相对于所 述第二振荡可动元件且关于一振荡轴线扭转振荡；

所述第二振荡可动元件由第二弹性支撑元件支撑，用于相对于所 述支撑部件且关于所述振荡轴线扭转振荡；

所述振荡系统具有关于所述振荡轴线的不同频率的第一和第二固 有振荡模式，其中当所述第一固有振荡模式的谐振频率是f1、所述第 二固有振荡模式的谐振频率是f2并且N是不小于2的整数时，满足下 列关系：

0.98N≤f₂/f₁≤1.02N，其中排除了f₂/f₁＝N的情况；

所述控制装置设置成根据下列关系确定设定驱动频率Df₁和Df₂：

Df₁＝(α₁×N×f₁+α₂×f₂)/N

Df₂＝(α₁×N×f₁+α₂×f₂)

其中，α₁和α₂是当确定设定驱动频率Df₁和Df₂时使用的加权系 数，并且满足：

α₁+α₂＝1

α₁＞0

α₂＞0

以便满足下列关系：

Df₂＝N×Df₁；以及

当谐振峰处的谐振频率为f_a，在谐振峰的低频侧振荡能量等于谐 振峰一半值的频率为f_b，在谐振峰的高频侧振荡能量等于谐振峰一半 值的频率为f_c，代表谐振峰陡峭度的值Q满足关系Q＝f_a/(f_c-f_b)，并 且各个固有振荡模式的谐振峰的陡峭度为Q_i，其中i为1和2时，所 述控制装置设置成将系数α_i确定为等于相应的Q_i除以Q的总和所获 得的值，

所述驱动部件按照所述设定驱动频率Df₁和Df₂驱动所述振荡系 统。