[发明专利]传声器及其制造方法

权利要求书

1.一种用于在声学信号和电信号之间换能的装置，包括：

含带电层和导电层的后挡板组件；以及

与所述后挡板组件相隔预定距离的振动膜组件，所述振动膜组件包括支承 结构和振动膜，所述振动膜响应声学信号而振动并整体地设置在所述支承结构 上，其中所述支承结构和所述振动膜形成自共同的材料。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述材料是硅。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述振动膜组件形成自绝缘 体上硅结构的晶片。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支承结构具有大约80μm 至大约200μm的厚度。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支承结构包括外径和内径。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述支承结构的外径在1.0- 3.0mm之间的范围内。

7.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述支承结构的内径在0.5- 2.0mm之间的范围内。

8.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述振动膜具有大约0.5-2.0 μm的厚度。

9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，在所述后挡板组件和所述振动 膜组件之间形成有间隔件，从而形成电动机部分。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述间隔件由选自聚对苯二甲 酸乙二醇酯(PET)、聚酰亚胺、塑料、塑料复合材料、纤维加强塑料及其组合 的材料来形成。

11.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述间隔件是类似金属的材料。

12.如权利要求1所述的装置，其特征在于，在所述振动膜组件上形成至少 一个穿孔，以控制频率、提供大气压或其组合。

13.如权利要求12所述的装置，其特征在于，所述穿孔具有大约8μm至 大约75μm的直径。

14.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置是传声器。

15.一种用于助听器的传声器，包括：

含带电层的后挡板组件，所述带电层是氟化乙烯丙烯类材料；以及

与所述后挡板组件隔开预定距离的振动膜组件，所述振动膜组件包括支承 结构和振动膜，所述振动膜响应声学信号而振动且整体地设置在所述支承结构 上，所述支承结构和所述振动膜由单晶硅制成；

其中所述后挡板组件和所述振动膜组件联接在一起以形成电动机部分。

16.如权利要求15所述的传声器，其特征在于，在所述后挡板组件和所 述振动膜组件之间形成有间隔件。

17.如权利要求15所述的装置，其特征在于，所述支承结构的厚度为大 约125μm。

18.如权利要求15所述的装置，其特征在于，所述支承结构具有大约 2.2mm的外径。

19.如权利要求15所述的装置，其特征在于，所述支承结构具有大约 1.8mm的内径。

20.如权利要求15所述的装置，其特征在于，所述振动膜具有大约1μ m的厚度。

21.如权利要求15所述的传声器，其特征在于，所述后挡板组件包括与 所述带电层相邻的导电层。

22.一种形成用于传声器的振动膜组件的方法，所述振动膜组件具有支 承结构和振动膜，所述方法包括：

提供具有第一层、中间层和搬运晶片的绝缘体上硅结构的晶片；

蚀刻所述第一层的周缘以形成振动膜；

进一步有选择地在所述第一层的周缘附近穿过所述第一层蚀刻出孔，以形 成穿孔；

有选择地背面蚀刻所述搬运晶片以形成支承结构；以及

使用蚀刻剂去除未被覆盖的所述中间层的一部分，从而形成从所述支承结 构悬伸的振动膜。