[发明专利]连接部密封结构及其所用密封构件

说明书

技术领域

本发明涉及在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件的连接部密封结构及其所用密封构件。

背景技术

一直以来，在半导体制造工艺、液晶制造工艺等化学液体控制中，使用流量控制阀和开闭阀等阀门类、过滤器、压力传感器和流量传感器等传感器类、接头组件及流路组件等配管组件类等流体设备。近年来，为了装置的紧凑化，将这些流体设备的连接部彼此直接连接而将连接部分密封，进行单元化。作为在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件的连接部密封结构，存在例如专利文献1所述的结构。

图36为应用了现有的连接部密封结构的集成板1100的剖面图。

集成板1100为在板材1101的上表面通过螺钉1116固定有阀1102的部件，在板材1101和阀1102处介有密封构件1112。

板材1101的材质为氟树脂。与第一通道1103连通的纵通路1104、和与第二通道1105连通并在纵通路1104的周围形成为环状的纵环形通路1106在板材1101的连接部1101a上开口。连接部1101a中，在通路1104、1106的外侧设有具有环状突起1107的凹凸条。另一方面，阀1102具有氟树脂制的流路组件1108。与板材1101的纵通路1104对应的供给侧通路1109、和与板材1101的纵环形通路1106对应的环状的排出侧通路1110在流路组件1108的连接部1108a上开口。连接部1108a中，在通路1109、1110的外侧设置有具有环状突起1111的凹凸条。

密封构件1112由氟树脂环状地成形，在两端面上形成与环状突起1107、1111嵌合的环状槽1113、1114。环状槽1113、1114的槽宽度设定为环状突起的槽宽度的0.75～0.85倍，环状突起1107、1111的外周面和内周面压接于与环状槽1113、1114相对应的内外侧周面。并且，在密封构件1112的外周壁上，环状的装卸法兰盘1115横向突出。装卸法兰盘1115的厚度设定为比连接部1101a、1108a的间隙W小的值。

在安装密封构件1112时，以将板材1101的环状突起1107插入密封构件1112的环状槽1113中的方式将密封构件1112设置在板材1101上之后，以将流路组件1108的环状突起1111插入密封构件1112的环状槽1114中的方式将阀1102设置在板材1101上，之后，通过拧紧螺钉1116，将环状突起1107、1111嵌入密封构件1112的环状槽1113、1114中。

与此相对，在拆卸密封构件1112的情况下，拆卸螺钉1116而使阀1102从板材1101分离时，由于密封构件1112紧贴于板材1101或流路组件1108中的一个，所以用工具或手指拉扯密封构件1112的装卸法兰盘1115，将密封构件1112从板材1101或流路组件1108的凹凸条拆下。

专利文献1：日本特开2006-90378号公报(参照第11页、段落0041)

发明内容

但是，现有的连接部密封结构中，密封构件1112的装卸法兰盘1115较小，且收容于连接部1101a、1108a之间，因此难以用手指揪住。因此，在现有的连接部密封结构中，不得不用工具夹住装卸法兰盘1115而将其拉扯，但是可能会出现作业时工具与连接部1101a、1108a摩擦或碰撞等而使连接部1101a、1108a受到损伤的情况。在连接部1101a、1108a受到损伤的情况下，为了防止出现流体从损伤部分的泄漏，必须整个更换板材1101或流路组件1108，在密封构件1112的拆卸作业上耗费工时。

假设，即使能用手指揪住装卸法兰盘1115，但为了防止在通过螺钉1116将流路组件1108安装在板材1101上时，装卸法兰盘1115紧贴于板材1101的连接部1101a或流路组件1108的连接部1108a，所以装卸法兰盘1115的厚度设定为比连接部1101a、1108a的间隙W小的值，变得较薄。因此，在用手指捏住装卸法兰盘1115而拉扯时，装卸法兰盘1115可能会被撕下而破损，并不实用。

因此，希望一种能够用手工作业简单地将介于第一部件和第二部件之间的密封构件拆卸的连接部密封结构。