[发明专利]激光式气体分析仪

权利要求书

1.一种激光式气体分析仪，其包括：射出被频率调制后的激光的光源部；使来自该光源部的射出光平行的射出光学系统；将从该射出光学系统经测定对象气体所存在的空间传播的透过光聚光的聚光光学系统；接收通过该聚光光学系统被聚光后的光的受光部；和处理该受光部的输出信号的信号处理电路，

所述信号处理电路根据所述受光部的输出信号对所述光源部的调制信号的2倍频率成分的信号进行检测，对测定对象气体的浓度进行测定，所述激光式气体分析仪的特征在于：

所述光源部包括：

激光驱动信号生成部，其将以扫描测定对象气体的吸收波长的方式使激光元件的发光波长可变的波长扫描驱动信号、和用于调制所述发光波长的高频调制信号合成，作为激光驱动信号输出；

电流控制部，其将从该激光驱动信号生成部输出的所述激光驱动信号变换为电流；和

被供给从该电流控制部输出的电流的所述激光元件，

所述信号处理电路包括：

根据所述受光部的输出信号检测所述2倍频率成分的信号的振幅的同步检波电路；和

根据存在于该同步检波电路的输出信号中的气体吸收波形的最大值与最小值的差检测测定对象气体的浓度的运算部，

所述运算部以从所述激光驱动信号生成部与所述波长扫描驱动信号同步地输出的脉冲状的触发信号的定时为基准，预先对产生所述气体吸收波形的最大值和最小值的定时进行检测并保存。

2.根据权利要求1所述的激光式气体分析仪，其特征在于：

使所述触发信号与使所述激光元件的驱动电流为零的所述波长扫描驱动信号的定时同步。