[发明专利]信息记录媒体及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及使用激光束照射等光学性手段能够以高密度且高速度记录及再生信息的信息记录媒体及其制造方法。 

背景技术

作为能够以高速度进行信息的记录再生且容量大的信息记录媒体(以下称为“记录媒体”或“媒体”)，已知有光信息记录媒体。向该光信息记录媒体记录及再生信息是利用通过对记录材料照射激光束时产生的热量、而使记录材料向可光学性区别的不同状态变化来进行的。该记录媒体具有根据需要可以随机存取并且可传输性优良这样的显著的优点，因此，近年来其重要性越来越高。 

作为目前已提案的信息记录媒体，可以举出可多次改写的可改写型媒体、及仅可以写入一次的追记型媒体。通常，与可改写型媒体相比较，追记型媒体可以减少构成媒体的层数，制造容易，能够以低成本来提供。另外，由于其不能改写，追记型媒体适宜作为写入用户不希望被破坏或擦除的数据的媒体来使用。因这些理由，保存寿命长、可靠性高的追记型媒体作为档案库用途的媒体有很大的需求。追记型媒体例如用于利用计算机记录及保存个人数据或映像信息等，在医疗领域及学术领域得到了广泛应用。另外，追记型媒体可以作为替代家庭用录像磁带的媒体来使用。 

现在，伴随着应用的高性能化及图像信息的高性能化以及快速的市场发展，要求进一步增大追记型记录媒体的容量、及以更低的成本制造追记型记录媒体。 

将光信息记录媒体大容量化的技术从大的方面可分为两类。一类是通过光源的短波长化、物镜的高NA化及超解像记录等来提高面记录密度的方法。另一类是记录层数在媒体的厚度方向增加而使面记录的总面积增加的方法。现在，通过组合两种方法来增大光信息记录媒体的容量。 

另外，每一张光信息记录媒体的成本是由制造装置、制造所需要的时间及成品率等很多制造参数决定的。尤其是媒体的成本主要受媒体的材料成本左右。例如，众所周知，Pt、Pd及Au等贵金属元素以及Eu、Tb及Pr等稀土类元素储藏量很少，所以是高价材料。因此，这些元素从媒体成本方面考虑，优选尽量不使用其作为构成媒体的材料。 

伴随着近年来的DVD刻录机的惊人销路，对追记型媒体的需要急剧增加。这是因为将记录在硬盘上的映像保存于追记型记录媒体上的使用方法正在普及。当然，在使用下一代DVD刻录机的情况下，也可以设想消费者使用同样的使用方法，因此，对适合高清晰度电视播放录像的、大容量且低成本的追记型记录媒体的关注较集中。其一是蓝光盘(Blu-rayDisc：BD)。 

目前，作为追记型的记录材料，已提案几种氧化物材料。例如，已知的有以作为Te的低氧化物的TeO_x为主成分的记录材料。特别是已知以在TeO_x中分散有Pd的材料为主成分的Te-O-Pd记录材料可以得到大的信号振幅，并赋予其非常高的可靠性(参照专利文献1)。认为这些Te-O-Pd系记录材料的记录机理如下。成膜后的Te-O-Pd膜是在TeO₂中一样地分散有Te-Pd、Te或Pd微粒子的复合材料。为了进行记录而照射激光束时，Te、Te-Pd及Pd熔融且变成更大的晶粒而析出。由此，光学状态变化，可以将被照射激光束的部分和未照射的部分的光学状态的差作为信号进行检测。 

但是，如上所述，Te-O-Pd系记录材料作为构成成分包含高价的Pd，因此使用该材料难以实现低成本的光信息记录媒体。 

作为其它氧化物材料，还提出了以SbO_x为主成分的记录材料(专利文献2～5)。认为以SbO_x为基体的记录材料的机理与Te-O-Pd系记录材料相同。即，成膜后的SbO_x记录材料是在非晶形的Sb-O中一样地分散有Sb微粒子的复合材料，通过激光照射，Sb熔融且变成更大的晶粒而析出。由此，光学状态变化，能够以光学状态的差作为信号进行检测。 

作为使用SbO_x记录材料的光信息记录媒体的课题之一，可举出对比度小的问题。专利文献2中已提案为了提高对比度而添加PdO、In₂O₅、SnO、B₂O₅、CuO、TeO₂、SiO、GeO₂等材料的方法。但是，根据发明人等的实 验可知，以比专利文献2记载的实验条件更高的记录密度记录信息时，C/N比降低，记录再生特性降低。