[发明专利]用于测量质量流控制器中的气体的温度的方法和装置

权利要求书

1.一种用于测量质量流控制器中的气体的温度的方法，

所述方法包括：

向所述质量流控制器的热质量流传感器提供基本恒定的电流，所述热质量流传感器被设计为测量所述气体的质量流率，其中所述热质量流传感器包括：当气体流经所述质量流控制器时，基本恒定比例的所述气体流经其中的管；分别在沿所述管的第一和第二位置处绕所述管的外侧周围缠绕的第一和第二阻抗-温度计元件；以及具有第一、第二、第三和第四节点的桥式电路，将第一预定阻抗组件连接在所述第一和第二节点之间，将第二预定阻抗组件连接在所述第二和第三节点之间，将所述第一阻抗-温度计元件连接在所述第一和第四节点之间，将所述第二阻抗-温度计元件连接在所述第四和第三节点之间，其中，所述第三节点处于预定的参考电势，并且在所述第一节点处相对于所述第三节点测量输入电压；

测量在第一预定流量情况下的所述输入电压以获得第一电压V₁；以及

测量在第二预定流量情况下的所述输入电压以获得第二电压V₂，其中，所述第一预定流量情况为零流量情况，并且所述第二预定流量情况为最大流量情况；

从所述第一电压中减去所述第二电压以获得电压差；

测量当所述质量流控制器的基座处于预定的上限温度T_U时的所述输入电压以获得第三电压V₃；以及

测量当所述质量流控制器的基座处于预定的下限温度T_L时的所述输入电压以获得第四电压V₄；

测量所述热质量流传感器的输入电压以获得当前输入电压，所述输入电压随所述热质量流传感器的一对感测元件之间的温度差而变化；

确定与所述质量流控制器的当前操作点相对应的最大流量的分数；以及

通过将所述电压差和所述最大流量的分数的平方的乘积与所述当前输入电压相加来计算经调节的输入电压V_A；

基于所述第三和第四电压以及所述预定的上限和下限温度，将所述经 调节的输入电压映射到大于等于所述预定的下限温度并且小于等于所述预定的上限温度的温度，以计算所述气体的温度T_G，其中按照以下线性关系执行所述映射：

T_G＝(V_A-V₄)/m+T_L，

其中，m＝(V₃-V₄)/(T_U-T_L)。

2.如权利要求1所述的方法，还包括：

基于所计算出的温度补偿处于零流量情况下的所述热质量流传感器的输出电压的随温度的变化。

3.如权利要求1所述的方法，其中，将所述输入电压馈送到模拟-数字(A/D)转换器，并且根据所述模拟-数字转换器的输出将所述当前输入电压获得为数字值。