[发明专利]微机械加工的流体喷射器

权利要求书

1.一种微机械加工的流体喷射器，包括：

包括两个以上同心的压电换能器的薄膜，其中，在同心的条件下， 一个压电换能器包围另一个在薄膜上的压电换能器；以及

两个以上穿过所述薄膜并设置于所述两个以上同心的压电换能 器之间的孔口。

2.根据权利要求1所述的喷射器，还包括位于所述薄膜的第一 侧面的流体贮液腔。

3.根据权利要求2所述的喷射器，其中，所述孔口不被在所述 薄膜的所述第一侧面上的凸纹相互隔离。

4.根据权利要求2所述的喷射器，还包括平行对齐于所述薄膜 的盖子以及包括体致动器。

5.根据权利要求4所述的喷射器，其中，所述体致动器从由以 下致动器构成的组中选择：压电致动器、压阻致动器、静电致动器、 电容致动器、磁致伸缩致动器、热致动器和气动致动器。

6.根据权利要求2所述的喷射器，还包括在所述贮液腔中的流 体。

7.根据权利要求6所述的喷射器，其中所述流体包括墨水、药 物或燃料。

8.根据权利要求2所述的喷射器，其中，所述薄膜的第二侧面 与空腔相连，所述流体以液滴的形式从所述孔口喷出并进入该空腔。

9.一种用于喷射微流体的方法，该方法包括：

提供包括两个以上同心的压电换能器的薄膜，其中，在同心的条 件下，一个压电换能器包围另一个在薄膜上的压电换能器；所述薄膜 还包括两个以上设置在所述两个以上同心的压电换能器之间的孔口；

在所述薄膜的第一侧面上提供流体贮液腔；以及

将电压施加到一个或多个所述压电换能器；

从而偏转一个或多个孔口并从所述一个或多个以上孔口喷出一 个或多个所述贮液腔流体的液滴。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述电压被同时施加到 所述两个以上同心的压电换能器上。

11.根据权利要求9所述的方法，其中，所述两个以上孔口不被 在所述薄膜的所述第一侧面上的凸纹相互隔离。

12.根据权利要求9所述的方法，其中，所述流体包括墨水、药 物或燃料。

13.根据权利要求9所述的方法，还包括：

提供平行对齐于所述薄膜并包括体致动器的盖子；以及，

致动所述体致动器。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述致动包括生成体 致动波，该体致动波的特征在于具有足够大的幅度，以使液滴从所述 两个以上孔口喷出。