[发明专利]用于传送基底的机械手的末端执行器无效

专利信息
申请号: 200880010805.7 申请日: 2008-04-02
公开(公告)号: CN101652852A 公开(公告)日: 2010-02-17
发明(设计)人: I·于亚萨;Y·马鲁亚马;T·托基;I·富卡祖 申请(专利权)人: 纳幕尔杜邦公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/673;H01L21/677;B25J9/00;B25J15/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 段晓玲;韦欣华
地址: 美国特*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 用于 传送 基底 机械手 末端 执行
【权利要求书】:

1.基底传送机械手的末端执行器,所述末端执行器包括:

由纤维强化的塑料制成的上板;

由纤维强化的塑料制成的下板;和

布置在所述上板与下板之间的中间构件,所述中间构件包含选 自铝、不锈钢和蜂窝状纤维强化的塑料的材料。

2.根据权利要求1的末端执行器,其中所述纤维强化的塑料的纤维为 碳纤维、芳族聚酰胺纤维或聚对苯撑苯并二唑纤维。

3.根据权利要求2的末端执行器,其中所述纤维强化的塑料的纤维为 碳纤维,所述碳纤维具有490至950GPA的拉伸弹性模量,并且所 述纤维的体积占所述纤维强化的塑料的总体积的30%或更高。

4.根据权利要求3的末端执行器,其中所述纤维的体积占所述纤维强 化的塑料的总体积的40%或更高。

5.根据权利要求1的末端执行器,其中所述末端执行器具有连接到所 述基底传送机械手上的固定端和自由端以及垂直于所述末端执行器 的纵向的横截面,并且其中所述末端执行器具有中空结构,所述横 截面的外周长在从所述固定端朝向所述自由端移动时变小。

6.根据权利要求5的末端执行器,其中所述自由端的外周长为所述固 定端的外周长的1/3至9/10。

7.根据权利要求6的末端执行器,其中所述自由端的外周长为所述固 定端的外周长的1/2至3/5。

8.装备有权利要求1的末端执行器的基底传送机械手。

9.装备有权利要求2的末端执行器的基底传送机械手。

10.装备有权利要求3的末端执行器的基底传送机械手。

11.装备有权利要求5的末端执行器的基底传送机械手。

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