[发明专利]用于传送基底的机械手的末端执行器无效
申请号: | 200880010805.7 | 申请日: | 2008-04-02 |
公开(公告)号: | CN101652852A | 公开(公告)日: | 2010-02-17 |
发明(设计)人: | I·于亚萨;Y·马鲁亚马;T·托基;I·富卡祖 | 申请(专利权)人: | 纳幕尔杜邦公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/673;H01L21/677;B25J9/00;B25J15/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 段晓玲;韦欣华 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 传送 基底 机械手 末端 执行 | ||
1.基底传送机械手的末端执行器,所述末端执行器包括:
由纤维强化的塑料制成的上板;
由纤维强化的塑料制成的下板;和
布置在所述上板与下板之间的中间构件,所述中间构件包含选 自铝、不锈钢和蜂窝状纤维强化的塑料的材料。
2.根据权利要求1的末端执行器,其中所述纤维强化的塑料的纤维为 碳纤维、芳族聚酰胺纤维或聚对苯撑苯并二唑纤维。
3.根据权利要求2的末端执行器,其中所述纤维强化的塑料的纤维为 碳纤维,所述碳纤维具有490至950GPA的拉伸弹性模量,并且所 述纤维的体积占所述纤维强化的塑料的总体积的30%或更高。
4.根据权利要求3的末端执行器,其中所述纤维的体积占所述纤维强 化的塑料的总体积的40%或更高。
5.根据权利要求1的末端执行器,其中所述末端执行器具有连接到所 述基底传送机械手上的固定端和自由端以及垂直于所述末端执行器 的纵向的横截面,并且其中所述末端执行器具有中空结构,所述横 截面的外周长在从所述固定端朝向所述自由端移动时变小。
6.根据权利要求5的末端执行器,其中所述自由端的外周长为所述固 定端的外周长的1/3至9/10。
7.根据权利要求6的末端执行器,其中所述自由端的外周长为所述固 定端的外周长的1/2至3/5。
8.装备有权利要求1的末端执行器的基底传送机械手。
9.装备有权利要求2的末端执行器的基底传送机械手。
10.装备有权利要求3的末端执行器的基底传送机械手。
11.装备有权利要求5的末端执行器的基底传送机械手。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于纳幕尔杜邦公司,未经纳幕尔杜邦公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200880010805.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造