[发明专利]光波导元件及光波导元件的温度串扰抑制方法

权利要求书

1.一种光波导元件，其特征在于，

具有：具备电光效应的基板；

在上述基板上形成的光波导；以及

用于调制在上述光波导内波导的光波的多个调制用电极，

上述光波导在上述光波的行进方向上分支为两根而构成两根主光波导，各主光波导在上述光波的上述行进方向上进一步分支为两根而构成两根子光波导，

上述两根主光波导构成主马赫-曾德尔型光波导，并且上述两根子光波导组装到上述主马赫-曾德尔型光波导内，构成子马赫-曾德尔型光波导，

在上述基板的相对配置的两个上述子马赫-曾德尔型光波导之间具有热传导抑制区域。

2.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

上述热传导抑制区域是形成在上述基板内的槽部。

3.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

上述热传导抑制区域是形成在上述基板内的槽部内所填充的隔热部件。

4.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

上述热传导抑制区域是金属板。

5.根据权利要求4所述的光波导元件，其特征在于，

上述金属板是上述多个调制用电极中的、上述两个子马赫-曾德尔型光波导之间设置的至少一个调制用电极。

6.一种光波导元件的温度串扰抑制方法，

该光波导元件具有：具备电光效应的基板；在上述基板上形成的光波导；以及用于调制在上述光波导内波导的光波的多个调制用电极，

上述光波导在上述光波的行进方向上分支为两根而构成两根主光波导，各主光波导在上述光波的上述行进方向上进一步分支为两根而构成两根子光波导，上述两根主光波导构成主马赫-曾德尔型光波导，并且上述两根子光波导组装到上述主马赫-曾德尔型光波导内，构成子马赫-曾德尔型光波导，

上述光波导元件的温度串扰抑制方法的特征在于，

在上述基板的相对配置的两个上述子马赫-曾德尔型光波导之间，形成由槽部构成的热传导抑制区域，抑制上述两个子马赫-曾德尔型光波导之间的温度串扰。

7.根据权利要求6所述的光波导元件的温度串扰抑制方法，其特征在于，

上述热传导抑制区域是形成在上述基板内的槽部。

8.根据权利要求6所述的光波导元件的温度串扰抑制方法，其特征在于，

上述热传导抑制区域是形成在上述基板内的槽部内所填充的隔热部件。

9.根据权利要求6所述的光波导元件的温度串扰抑制方法，其特征在于，

上述热传导抑制区域是金属板。

10.根据权利要求9所述的光波导元件的温度串扰抑制方法，其特征在于，

上述金属板是上述多个调制用电极中的、上述两个子马赫-曾德尔型光波导之间设置的至少一个调制用电极。