[发明专利]碳质坩埚的保护方法以及单晶拉制装置

权利要求书

1.一种碳质坩埚的保护方法，将由膨胀石墨材料构成的保护膜夹设在石英坩埚和载置该石英坩埚的碳质坩埚之间，所述保护膜在所述石英坩埚和所述碳质坩埚之间的铺设中，将两个以上构成的保护膜片组合为一体的形状而铺设在碳质坩埚的内表面，其中， 

所述保护膜片具备在铺设于碳质坩埚的内表面的状态下固定彼此相邻的保护膜片的固定机构， 

所述固定机构是：在相邻的保护膜片中的一方的保护膜片的端部设置凸部，在另一方的保护膜片的端部设置与所述凸部嵌合的凹部，将所述凸部插入所述凹部的结构；或者是在一方的保护膜片的端部设置裂缝，将另一方的保护膜片的端部插入该裂缝的结构。 

2.根据权利要求1所述的碳质坩埚的保护方法，其中， 

所述保护膜片被分割为球面状的底部和内周部，并且进一步将内周部分割为多个。 

3.根据权利要求1或2所述的碳质坩埚的保护方法，其中， 

在所述碳质坩埚的内表面，相邻的保护膜片彼此大致无间隙地铺设。 

4.根据权利要求1或2所述的碳质坩埚的保护方法，其中， 

所述碳质坩埚由碳纤维强化碳复合材料构成，所述保护膜片以覆盖碳质坩埚的全部内表面的方式铺设。 

5.根据权利要求1或2所述的碳质坩埚的保护方法，其中， 

所述碳质坩埚由石墨材料构成且分别将分割为多个的坩埚部分对接而成，所述保护膜片由膨胀石墨膜构成且以至少覆盖对接部的方式铺设在碳质坩埚的内表面。 

6.根据权利要求5所述的碳质坩埚的保护方法，其中， 

所述保护膜沿着所述对接部铺设。 

7.一种单晶拉制装置，其使用了权利要求1～6中任一项所述的碳质坩埚的保护方法。