[发明专利]线锯以及制造线锯的方法无效

专利信息
申请号: 200880011070.X 申请日: 2008-04-03
公开(公告)号: CN101652217A 公开(公告)日: 2010-02-17
发明(设计)人: C·哈曼;C·舒 申请(专利权)人: 西门子公司
主分类号: B23D57/00 分类号: B23D57/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 宣力伟
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 以及 制造 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种从陶瓷元件块分割出多个陶瓷元件的线锯,还涉 及一种从陶瓷元件块分割出多个陶瓷元件的方法。

背景技术

陶瓷元件例如是压电叠层或压电叠堆,它们在制造压电致动器时 使用。

压电致动器通常由多个压电陶瓷片组成。压电陶瓷是这样一种材 料,此材料由于压电效应在施加电压时会伸长。这种压电陶瓷构成了 压电致动器的基础,它们在施加电压时可实现几微米的移动路程。压 电陶瓷具有电偶极矩,它们分别在韦斯场区内具有优先方向,韦斯场 区是相互分开的。在压电陶瓷未极化的基态下,单个韦斯场区的优先 方向是不规则的,因此朝外不存在宏观的压电陶瓷导电极化。

为了使压电效应可用于压电致动器,压电陶瓷必须通过电偶极矩 的对齐来进行极化,从而使电偶极矩在所有的韦斯场区中都不会或只 是轻微地偏离由极化轴线预定的优先方向。压电陶瓷例如被当作压电 致动器的基体,此压电致动器尤其应用在机动车领域中,例如作为电 磁转换器用在内燃机的共轨喷射装置中。

上面描述的单个压电陶瓷两面都配有金属电极或内部电极。如果 在所述内部电极上施加电压,则压电陶瓷反应为晶格变形,它沿着主 轴线导致了上面已提到的可利的用长度伸长。因为它沿着主轴线上当 然小于层厚的千分之二,所以必须制造一个相应较高的活性的压电陶 瓷层厚,以达到所期望的绝对长度伸长。然而,随着压电致动器内部 的压电陶瓷层厚的增加,起动压电致动器所需的电压也得提高。为了 把它保持在可控制的范围之内,在多层执行元件中单个压电层的厚度 通常在20μm和200μm之间。因此为了达到期望的长度伸长,压电致 动器必须具有相应数量的陶瓷层。

申请者已知,为了制造压电叠层或压电叠堆,压电陶瓷生膜交替 地与内部电极材料设在叠层中。

在申请者内部已知的是,通过多个“生的”未烧结的陶瓷膜或压电 陶瓷生膜或压电层彼此重叠地堆在一起并再进行挤压,来制造多用途 的压电叠层或压电叠堆。这个压电叠层垛然后分离或分成许多单个的 元件。

为了分离或分成单个的元件,从半导体技术中已知使用线锯。图 1A和1B示出了传统线锯DS的示意纵向剖面图或示意横向剖面图。 在这种传统的线锯DS中,借助所述线D或借助由此构成的平行线部 段DA1-DA13切割出多个由硅单晶体构成的盘片。所述线D为此多次 通过转向辊U1-U3平行地导引,用于产生线架DH或锯框。单个线部 段DA1-DA13之间的间距或偏移量当然要限定在几毫米的狭小尺度 内,因为线D可能会从其导引中弹出,或所述线D的磨擦由于机械 负载可能会很高。对于压电叠层或压电叠堆所需的切割宽度来说,这 个几毫米的间距当然太小,因此由半导体技术中已知的线锯不能用于 分离陶瓷元件(如压电叠层)。

这种线锯例如由文献US 4,494,523已知。对于这种线锯来说,线 在原本的拉锯范围内通过三个彼此呈三角形设置的转向辊(它们的直 径至少等于工件的直径)导引,转向辊中的一个被驱动。工件开始时 位于此棱柱结构的内部,并在分割过程中从下方朝活动的线的水平拉 紧范围移动。

发明内容

由此,本发明的目的是,以简单且尤其成本有利的方式分离出陶 瓷元件。

另一目的是,提供一种方法和一种装置,用于从陶瓷元件块或生 坯块分割出多个陶瓷元件,它们可根据应用目的加以使用。

按本发明,所提目的中的至少一个通过一种线锯得以实现,用于 从陶瓷元件块分割出多个陶瓷元件,所述线锯具有辊系统,所述辊系 统具有多个转向辊,所述转向辊对线进行导引以形成线架,其中所述 转向辊中的至少一个转向辊分成分开的盘片,通过所述分开的盘片导 引所述线的单个线绕圈,并且所述分开的盘片以可调整的小于90°的 角度α朝着将所述盘片的中点连接起来的轴线倾斜,其中设有调节装 置,该调节装置根据盘片的预定的直径和所述可调节的角度α,对线 架的平行的线部段之间的偏移量进行调节,以便调节线锯的切割宽 度。

为此按本发明,提出了一种从陶瓷元件块分割出多个陶瓷元件的 线锯,所述线锯具有辊系统,所述辊系统具有多个转向辊,此转向辊 对线进行导引,从而形成线架,其中所述转向辊中的至少一个转向辊 被分成分开的盘片,所述线的各单个的线绕圈分别通过所述盘片导 引,所述盘片分别以可调整的小于90°的角度α(α<90°)朝着将所述 盘片的中点连接起来的轴线倾斜。

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