[发明专利]用于在光致抗蚀剂图案上面涂覆的含内酰胺的组合物

权利要求书

1.用于涂覆光致抗蚀剂图案的水性涂料组合物，其包含含至少一 种内酰胺基团的水溶性聚合物，其中与该聚合物连接的内酰胺基团具 有结构(1)，

其中R₁独立地选自氢、C₁-C₄烷基、C₁-C₆烷基醇、羟基(OH)、胺 (NH₂)、羧酸和酰胺(CONH₂)，表示与所述聚合物的连接部分， m＝1-6，n＝1-4。

2.权利要求1的组合物，其中所述含内酰胺基团的聚合物包含结 构(2)的单体单元，

其中R₁选自氢、C₁-C₄烷基、羟基(OH)、C₁-C₆烷基醇、胺(NH₂)、 羧酸和酰胺(CONH₂)，R₂和R₃独立地选自氢、C₁-C₆烷基，m＝1-6，n＝1-4。

3.权利要求1或2的组合物，其中n＝2。

4.权利要求1或2的组合物，其中所述含内酰胺基团的聚合物包含 衍生自乙烯基己内酰胺的单体单元。

5.权利要求1或2的组合物，其中所述含内酰胺基团的聚合物包含 至少一种其它共聚单体单元。

6.权利要求5的组合物，其中所述其它共聚单体单元衍生自包含选 自吡咯烷酮、咪唑、胺、羧酸、酰胺和N-烷基酰胺的基团的单体。

7.权利要求6的组合物，其中所述其它共聚单体单元衍生自选自N- 乙烯基吡咯烷酮、乙烯基咪唑、烯丙胺、甲基丙烯酸、丙烯酸、丙烯 酰胺和N-烷基丙烯酰胺的单体。

8.权利要求1或2的组合物，其中所述聚合物选自聚(N-乙烯基 己内酰胺-共聚-乙烯胺)、聚(N-乙烯基己内酰胺-共聚-烯丙胺)、 聚(N-乙烯基己内酰胺-共聚-二烯丙基胺)、聚(N-乙烯基己内酰胺- 共聚-丙烯酰基吗啉)、聚(N-乙烯基己内酰胺-共聚-甲基丙烯酸-2- 二甲氨基乙酯)、聚(N-乙烯基己内酰胺-共聚-甲基丙烯酸哌啶基酯)、 聚(N-乙烯基己内酰胺-共聚-N-甲基-N-乙烯基乙酰胺)和聚(N-乙 烯基己内酰胺-共聚-二甲基氨基丙基甲基丙烯酰胺)、聚(N-乙烯基 吡咯烷酮-共聚-乙烯基咪唑-共聚-N-乙烯基-己内酰胺)和聚(N-乙烯 基吡咯烷酮-共聚-N-乙烯基-己内酰胺)。

9.权利要求1或2的组合物，其中所述组合物进一步含有水混溶 性溶剂。

10.根据权利要求9的组合物，其中所述组合物进一步含有选自以 下的水混溶性溶剂：(C₁-C₈)醇、二醇、三醇、酮、酯、酰胺、乙二 醇单烷基醚、丙二醇单甲醚和丙二醇单乙醚。

11.根据权利要求10的组合物，其中所述酮是N-甲基吡咯烷酮。

12.根据权利要求10的组合物，其中所述酯是乳酸酯、乙二醇单 烷基醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯和丙二醇单乙醚乙酸酯。

13.权利要求1或2的组合物，其中所述组合物还包含选自以下的添 加剂：表面活性剂、氨基醇、胺、(C₁-C₈)醇、光致酸产生剂、交联 性化合物、热致酸产生剂和游离酸。

14.权利要求1或2的组合物，其中所述组合物不合交联性化合物。

15.权利要求1或2的组合物，其中所述组合物不含光致酸产生剂。