[发明专利]利用粘着底漆层的压印光刻法有效
| 申请号： | 200880011551.0 | 申请日： | 2008-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN101702886A | 公开（公告）日： | 2010-05-05 |
| 发明（设计）人： | F·Y·徐;S·V·斯利尼瓦森;E·B·弗莱彻 | 申请（专利权）人： | 分子制模股份有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭辉;周承泽 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 粘着 底漆 压印 光刻 | ||
1.一种利用粘着底漆层的压印光刻方法，包括以下步骤：
(a)使基片与多官能组分接触，其中
(i)所述多官能组分包括第一端部、第二端部以及介于所述第一端部与 第二端部之间的连接基团，其中
(ii)所述第一端部包含四价原子，其中
(iii)所述连接基团是最多具有三个碳原子的烃基；
(b)使该多官能组分的第一端部的四价原子与基片共价结合以形成粘着底 漆层；
(c)在压印光刻过程中使该多官能组分的第二端部与聚合性材料共价结合。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多官能组分具有最高350 ℃的沸点。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多官能组分具有最大100 cP的粘度。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述连接基团是-CH2-。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述四价原子是硅。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多官能组分是丙烯酰氧基 甲基三甲氧基硅烷。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多官能组分是丙烯酰氧基 甲基三乙氧基硅烷。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多官能组分是丙烯酰氧基 丙基三氯硅烷。
9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多官能组分是丙烯酰氧基 丙基三甲氧基硅烷。
10.如权利要求1所述的方法，还包括使所述基片与一种或多种其它组分 接触。
11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，一种所述其它组分是1,2- 双(三甲氧基甲硅烷基)乙烷。
12.如权利要求10所述的方法，其特征在于，一种所述其它组分是1,6- 双(三氯甲硅烷基)己烷。
13.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基片包括硅。
14.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基片选自硅、氧化硅、 氮化硅、钽、铝和熔凝硅石。
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