[发明专利]具有接触探测器的装置

权利要求书

1.一种测定测试样品表面区域电学特性的探针，所述探针相对于所述测试 样品处于特定方向，所述探针包括：

确定第一表面的支撑体；

从与所述第一表面共面的所述支撑体延伸的多个悬臂，所述多个悬臂彼此大 致平行地延伸，所述多个悬臂的每一个包括一个电传导的端部，所述端部通过将 与测试样品的所述表面相应的所述探针移动到所述特定方向内以接触所述测试 样品的所述表面，以及

从所述支撑体延伸的接触探测器，所述接触探测器设置成进行上述移动时在 接触所述测试样品所述表面的所述多个悬臂的任一个之前或同时接触所述测试 样品的所述表面，其中所述接触探测器是一个应变计式传感器，包括：

在自身基座处分成两个锚臂的柔性臂，以及从所述锚臂中的一个锚臂传输到 柔性臂并由所述锚臂的另外一个锚臂传输回来的非压阻材料的电学通路，

其中所述特定方向是对准测试样品表面的方向。

2.如权利要求1所述的测定测试样品表面区域电学特性的探针，其中所述 探针进一步包括用于探测所述接触探测器信号变化的电学探测电路。

3.如权利要求2所述的测定测试样品表面区域电学特性的探针，其中所述 测试样品的所述表面是通过测量所述柔性臂的偏移来探测的。

4.如权利要求2或3所述的测定测试样品表面区域电学特性的探针，其中 所述电学探测电路包括惠斯登电桥，或包括四线欧姆电路。

5.如权利要求1所述的测定测试样品表面区域电学特性的探针，其中所述 接触探测器与所述多个悬臂成特定角度延伸，所述特定角度为平行延伸的悬臂定 义的方向和接触探测器之间所定义的夹角。

6.如权利要求5所述的测定测试样品表面区域电学特性均探针，其中特定 角度是0度、45度或90度。

7.如权利要求1所述的测定测试样品表面区域电学特性的探针，其中所述 多个悬臂从所述支撑体延伸以定义第一长度，所述接触探测器从所述支撑体延伸 以定义不同于所述第一长度的第二长度。

8.如权利要求7所述的测定测试样品表面区域电学特性的探针，其中所述 第二长度大于所述第一长度，或所述第二长度小于所述第一长度。

9.如权利要求7或8所述的测定测试样品表面区域电学特性的探针，其中 接触探测器的所述第二长度沿接触探测器的纵向构成接触探测器的总体长度，其 中柔性臂定义分臂孔径，所述分臂孔径沿所述纵向定义分臂长度，且其中分臂长 度占所述第二长度的百分比选自以下群组中之一：10-99％、15-75％、20-30％、 25-40％、10-15％、15-20％、20％-25％、25-30％、30-35％、35-40％、40-45％、45-50％、 50-55％、55-60％、60-65％、65-70％、70-75％、75-80％、80-85％、85-90％、90-95％、 或95-99％。

10.如权利要求7或8所述的测定测试样品表面区域电学特性的探针，其中 所述第一长度和/或所述第二长度选自以下群组中之一：1μm-1000μm、 2μm-500μm、5μm-100μm、1μm-5μm、5μm-20μm、25μm-50μm、50μm-75μm、 75μm-100μm、100μm-150μm、150μm-200μm、200μm-300μm、300μm-500μm、 或500μm-1000μm。

11.如权利要求1所述的测定测试样品表面区域电学特性的探针，其中所述 多个悬臂具有共同表面。

12.如权利要求11所述的测定测试样品表面区域电学特性的探针，其中所 述接触探测器在第二表面，所述第二表面位于所述共同表面内或所述第二表面位 于与所述共同表面平行的平面内。

13.根据权利要求1所述的测定测试样品表面区域电学特性的探针，其中所 述探针使用MEMS或NEMS制造技术制成。

14.根据权利要求1所述的测定测试样品表面区域电学特性的探针，其中所 述接触探测器位于所述悬臂之间。