[发明专利]全氟弹性体组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种含氟弹性体组合物，其包含

第一可固化全氟聚合物，它包含四氟乙烯、第一全氟烷基乙烯基 醚和至少一种第一固化位点单体，该第一固化位点单体具有选自腈基、 羧基和烷氧基羰基的至少一种官能团；和

第二可固化全氟聚合物，它包含四氟乙烯、第二全氟烷基乙烯基 醚和至少一种第二固化位点单体，该第二固化位点单体具有选自腈基、 羧基和烷氧基羰基的至少一种官能团，其中在所述第一可固化全氟聚 合物中的第一全氟烷基乙烯基醚的含量与在所述第二可固化全氟聚合 物中的第二全氟烷基乙烯基醚的含量是不同的，其中在所述第一可固 化全氟聚合物中的全氟烷基乙烯基醚的含量与在所述第二可固化全氟 聚合物中的全氟烷基乙烯基醚的含量的数值相减的差异为5到 25mol%。

2.一种含氟弹性体组合物，其包含

全氟弹性体（A），该全氟弹性体（A）具有四氟乙烯单元、全氟 烷基乙烯基醚单元（a）和单体单元（b），该单体单元（b）具有选自 腈基、羧基和烷氧基羰基的至少一种基团，其中所述组合物包含两种 或更多种全氟弹性体（A），该两种或更多种全氟弹性体（A）具有不 同含量的全氟烷基乙烯基醚单元（a），其中在所述两种或更多种全氟 弹性体（A）中，在任何两种全氟弹性体（A）之间的全氟烷基乙烯基 醚单元（a）的含量的数值相减的差异为5到25mol%。

3.权利要求2的含氟弹性体组合物，其中所述全氟烷基乙烯基醚 单元（a）是全氟甲基乙烯基醚单元。

4.权利要求2的含氟弹性体组合物，其还包含交联剂（B），该交 联剂（B）能够与所述单体单元（b）的选自腈基、羧基和烷氧基羰基 的至少一种基团交联。

5.权利要求4的含氟弹性体组合物，其中所述交联剂（B）的量为 基于100质量份的全部全氟弹性体计的0.3到10.0质量份。

6.权利要求4的含氟弹性体组合物，其中所述交联剂（B）是含有 至少两个由式（II）表示的可交联的反应基团的化合物：

其中R¹基团是相同或不同的，并且各自是-NH₂、-NHR²、-OH或-SH； R²是单价有机基团，

由式（III）表示的化合物：

其中R³是-SO₂-、-O-、-CO-、具有1到6个碳原子的亚烷基、具有1 到10个碳原子的全氟亚烷基或单键；R⁴是

或

由式（IV）表示的化合物：

其中R_f¹是具有1到10个碳原子的全氟亚烷基；以及

由式（V）表示的化合物：

其中n是1到10的整数。

7.用于半导体制造设备的密封材料，其由权利要求1的含氟弹性 体组合物制造。