[发明专利]等离子体监控装置及其方法

权利要求书

1.一种等离子监控装置，其特征在于，包括：

等离子供给装置，具有电源供给部，用于供给电源；供给线，用 于供给反应气体；放射喷嘴，向处理对象物放射所述等离子供给装置 内部所产生的等离子；

摄像部，其以图像映像方式获得从所述等离子供给装置放射的等 离子放射状态；以及

控制部，其用于对针对所述图像映像的像素信息进行数值化而获 得的测定值和针对正常放射状态下的图像映像进行数值化而获得的 基准值进行比较，以控制等离子的放射状态，

所述等离子供给装置配置在所述处理对象物的上侧或下侧中的 任一侧，用于向所述处理对象物的表面放射等离子，所述摄像部朝着 所述等离子供给装置而配置。

2.根据权利要求1所述的等离子监控装置，其特征在于，所述 控制部根据测定值和基准值的比较结果，调节通过等离子供给装置的 电源供给部供给的电源，控制等离子的放电条件，从而调节等离子的 放射量。

3.根据权利要求1所述的等离子监控装置，其特征在于，所述 等离子供给装置在反应气体供给线上配置有用于调节反应气体供给 量的调节装置，

所述控制部根据测定值和基准值的比较结果，通过等离子供给装 置的调节装置调节等离子的放射量。

4.根据权利要求2或3所述的等离子监控装置，其特征在于， 所述摄像部彼此相隔一定距离而配置多个。

5.根据权利要求4所述的等离子监控装置，其特征在于，当处 理处理对象物的两面时，为了向处理对象物的上面和底面放射等离 子，分别配置所述等离子供给装置，并在所述等离子供给装置的对向 侧分别配置摄像部。

6.根据权利要求5所述的等离子监控装置，其特征在于，所述 摄像部为电荷耦合器件摄像机。

7.一种等离子监控方法，其特征在于，包括：

通过基于放电的反应气体的离子化来产生等离子，并向处理对象 物供给等离子的步骤；

利用电荷耦合器件摄像机以图像映像方式获得所述等离子放射 状态的步骤；

分析所述图像映像的像素信息获得测定值的步骤；

比较所述测定值和正常放射状态下的基准值的比较步骤；以及

当所述测定值和基准值不一致时调节等离子供给量的调节步骤。

8.根据权利要求7所述的等离子监控方法，其特征在于，在所 述比较步骤中，通过比较测定值和基准值来判断两者是否相同，测定 值是否大于基准值，还是小于基准值。

9.根据权利要求7所述的等离子监控方法，其特征在于，所述调 节步骤根据比较步骤的比较结果，如果测定值与基准值相同，则判断 放射状态良好，并维持反应气体的供给量；如果测定值大于基准值， 则减少反应气体的供给量；如果测定值小于基准值，则增加反应气体 的供给量，以增加等离子的产生量。

10.根据权利要求7至9中任何一项所述的等离子监控方法，其 特征在于，所述调节步骤根据比较步骤的比较结果，如果测定值与基 准值相同，则判断放射状态良好，并维持等离子的放电条件；如果测 定值大于基准值，则减少等离子的放电条件；如果测定值小于基准值， 则加大等离子的放电条件，以控制等离子的产生量。